在實(shí)驗(yàn)室或工廠中，氣體質(zhì)量流量控制器突然出現(xiàn)流量異常、響應(yīng)遲緩，無疑是令人困擾的情況。作為控制工藝氣體“呼吸”的關(guān)鍵部件，MFC的穩(wěn)定性至關(guān)重要。當(dāng)流量示數(shù)不準(zhǔn)或歸零時(shí)，堵塞通常是首要懷疑對(duì)象。那么，MFC通常因何堵塞？面對(duì)這種情況，有哪些通用的排查與處理思路？本文將為您梳理相關(guān)的常見知識(shí)與預(yù)防建議。

一、 探尋堵塞的常見誘因：可能阻塞MFC的幾種情況

MFC內(nèi)部流道精密，對(duì)污染較為敏感。以下是幾種導(dǎo)致其性能下降或堵塞的常見情況：

1. 顆粒物積聚

常見原因： 氣體中若含有灰塵、管道銹蝕物、焊接殘留碎屑等固體顆粒，可能在MFC內(nèi)部狹窄流道中沉積。

典型表現(xiàn)： 流量示值可能出現(xiàn)不穩(wěn)定波動(dòng)，設(shè)備響應(yīng)速度或會(huì)變慢。

易發(fā)場(chǎng)景： 新氣路系統(tǒng)啟用前吹掃不充分；入口過濾器性能下降或失效；氣源潔凈度未達(dá)使用要求。

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2. 液體冷凝

常見原因： 當(dāng)氣體所含的水汽或可凝性蒸汽遇到低于其露點(diǎn)溫度的MFC內(nèi)部環(huán)境時(shí)，可能液化并積聚。

典型表現(xiàn)： 流量讀數(shù)易發(fā)生漂移，零點(diǎn)（不通氣時(shí)的示值）可能不穩(wěn)定。

易發(fā)場(chǎng)景： 環(huán)境濕度較高；氣源本身露點(diǎn)偏高；MFC在啟動(dòng)時(shí)未按其規(guī)范進(jìn)行預(yù)熱。

AMC2100氣體質(zhì)量流量控制器

3. 化學(xué)沉積

常見原因： 部分特定氣體（如某些金屬有機(jī)物、腐蝕性氣體）可能在特定條件（如高溫、高壓）下，在MFC內(nèi)部發(fā)生分解或反應(yīng)，生成固態(tài)產(chǎn)物。

典型表現(xiàn)： 流量顯示值呈現(xiàn)緩慢下降趨勢(shì)，調(diào)節(jié)設(shè)定值效果不佳，嚴(yán)重時(shí)可能導(dǎo)致氣流中斷。

易發(fā)場(chǎng)景： 輸送易分解或具有反應(yīng)活性的氣體；MFC長期在接近其設(shè)計(jì)極限的工況下運(yùn)行。

二、 通用應(yīng)對(duì)思路：從初步排查到系統(tǒng)性預(yù)防

當(dāng)懷疑MFC堵塞時(shí)，建議遵循由簡到繁的原則進(jìn)行排查，并始終將安全與設(shè)備保護(hù)置于首位。

第一步：初步排查與應(yīng)急參考

這些方法常用于處理輕微問題，但需謹(jǐn)慎操作。

規(guī)范性吹掃：

可考慮使用潔凈、干燥的惰性氣體（如高純氮?dú)猓?，參照設(shè)備手冊(cè)推薦的壓力范圍，沿氣體正常流向進(jìn)行吹掃。此舉有助于排除松散的顆粒物。

注意： 錯(cuò)誤的操作壓力或反向吹掃可能導(dǎo)致不可逆的傳感器損壞。

2.謹(jǐn)慎處理冷凝：

如高度懷疑為水分凝結(jié)，可在確保安全并完全斷電的情況下，參考手冊(cè)意見對(duì)閥體及傳感器部分進(jìn)行均勻、溫和的外部加熱，同時(shí)配合吹掃。

風(fēng)險(xiǎn)提示： 不適當(dāng)?shù)募訜崾歉唢L(fēng)險(xiǎn)操作，可能損壞內(nèi)部元件或引發(fā)安全事故。

3.檢查前置過濾器：

立即檢查MFC入口前端的過濾器狀態(tài)。若發(fā)現(xiàn)濾芯飽和、變色或超期，及時(shí)更換是直接且有效的維護(hù)措施。

第二步：著眼于長期的預(yù)防性措施

建立良好的使用習(xí)慣是避免問題的最佳策略。

1.加裝精密過濾器：

在MFC入口前安裝精度匹配的過濾器，并建立定期更換制度。

2.確保氣源質(zhì)量：

根據(jù)應(yīng)用需求選擇純度達(dá)標(biāo)的氣源，對(duì)于敏感工藝，應(yīng)考慮增加氣體純化器。

3.優(yōu)化工作環(huán)境：

確保MFC工作環(huán)境溫度高于氣源的實(shí)際露點(diǎn)溫度。對(duì)于易冷凝的應(yīng)用，優(yōu)先選用制造商推薦的加熱型MFC。

4.執(zhí)行定期維護(hù)：

制定定期校準(zhǔn)與檢查計(jì)劃（如每3至6個(gè)月檢查零點(diǎn)和量程），及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問題。

重要提示：以上內(nèi)容為通用性技術(shù)思路參考，不可替代設(shè)備官方文件。在進(jìn)行任何操作前，務(wù)必查閱具體型號(hào)的《用戶手冊(cè)》并遵從制造商指南，必要時(shí)請(qǐng)咨詢?cè)O(shè)備技術(shù)支持人員。


審核編輯 黃宇