2025年9月28日，廣州奧松電子股份有限公司的“新一代氣體質(zhì)量流量控制器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”順利通過科技成果評價。本次評價會由廣州生產(chǎn)力促進中心有限公司組織召開，邀請了來自華南理工大學、暨南大學、廣東工業(yè)大學、華南師范大學、廣東省科學院電子電器研究所、工業(yè)和信息化部電子第五研究所、中科院廣州電子技術(shù)有限公司等單位的7位專家組成評價專家組。

評價專家組聽取了項目匯報、審閱了相關(guān)材料，經(jīng)質(zhì)詢與討論，一致認定該項目成果具有創(chuàng)新性，整體技術(shù)達到國際先進水平。2025年11月3日，該項目入選廣州市2025年第十三期科技成果登記公示，現(xiàn)同步進行完成單位公示，公示內(nèi)容如下：

本項目所研發(fā)的新一代氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），適用于多種常規(guī)氣體，在測量結(jié)果的準確度與可靠性方面實現(xiàn)顯著提升。其重復精度高達±0.2%F.S.；泄漏率低至1×10?1? Pa·m3/sec，氣密性能優(yōu)異，有效保障生產(chǎn)安全。

AS200系列產(chǎn)品基于先進的MEMS技術(shù)研發(fā)，在傳感器驅(qū)動、零點漂移控制及閥控等關(guān)鍵環(huán)節(jié)均采用了自主核心技術(shù)，確保了產(chǎn)品的高性能、高品質(zhì)與高可靠性。產(chǎn)品具備穩(wěn)定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高等優(yōu)點，廣泛應用于半導體制造、燃料電池、航空航天、環(huán)境監(jiān)測、石油化工、光伏鍍膜、生物制藥、醫(yī)療設(shè)備等重點領(lǐng)域。通過實現(xiàn)國產(chǎn)化替代，項目成功打破國外技術(shù)壟斷，有效緩解半導體裝備領(lǐng)域中的“卡脖子”問題，契合國家“中國制造2025”與“雙碳”戰(zhàn)略需求。憑借高精度、快速響應和長期穩(wěn)定性等核心技術(shù)優(yōu)勢，該產(chǎn)品在多個高端制造領(lǐng)域展現(xiàn)出廣闊的推廣應用前景。

此次科技成果的順利評價與公示，不僅是對奧松電子技術(shù)研發(fā)能力的高度認可，更是對我國在高端傳感器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)科技自立自強的重要印證。未來，奧松電子將持續(xù)弘揚“創(chuàng)新、務實、高效、共贏”的企業(yè)精神，進一步增強自主創(chuàng)新能力，致力于為全球客戶提供更先進、更可靠的MEMS傳感器產(chǎn)品與解決方案，為推動我國半導體產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈安全與高質(zhì)量發(fā)展注入強勁動能。