引 言

復(fù)介電常數(shù)是表征介質(zhì)材料電磁特性最重要的參量之一，為使其付諸使用，必須準確地知道介質(zhì)材料的復(fù)介電常數(shù)。本文介紹一套介質(zhì)復(fù)介電常數(shù)測量系統(tǒng)軟件，它主要依據(jù)矩形腔微擾法對介質(zhì)介電常數(shù)進行測量。該方法是測量復(fù)介電常數(shù)的一種常用方法，其具有計算簡便，所需樣品少，精度高等優(yōu)點。該測試系統(tǒng)采用基于GPIB總線的虛擬儀器系統(tǒng)結(jié)構(gòu)作為硬件平臺，其特點是系統(tǒng)中集成了帶有GPIB接口的實際測量儀器，能夠保證系統(tǒng)具有很高的測量精度。軟件開發(fā)平臺則采用圖形化軟件LabWindows／CVI，其優(yōu)點是集圖形化編程和文本語言編程于一體，其界面友好，操作簡便，可大大縮短系統(tǒng)的開發(fā)周期。

1 系統(tǒng)軟件結(jié)構(gòu)

該測試系統(tǒng)采用LabWindows／CVI開發(fā)環(huán)境，為使自動測試軟件具有良好的儀器擴展性，便于升級，采用模塊化編程風格，使功能程序與驅(qū)動程序相對獨立。功能程序是一個包括多個子程序模塊的可執(zhí)行文件，它通過調(diào)用儀器驅(qū)動程序完成對儀器的控制，并協(xié)調(diào)儀器間的工作，以完成滿足標準要求的測試任務(wù)，同時提供與用戶交互的友好界面，完成數(shù)據(jù)處理。根據(jù)以上思路可得流程圖，如圖1所示。

首先，對測試系統(tǒng)進行參數(shù)設(shè)置，主要包括測量頻段的選定、測量點數(shù)的設(shè)定、通道的選擇等。然后，通過GPIB-USB卡控制矢網(wǎng)測出空腔狀態(tài)下的諧振頻率f0和品質(zhì)因素Q0，再加入樣品，測試負載時的諧振頻率fd和Qd，再利用這兩組數(shù)據(jù)，根據(jù)計算公式和樣品尺寸及腔體尺寸計算出相對介電常數(shù)和損耗正切角。

1．1 校準模塊

該校準模塊分為標準校準和非標準校準兩個部分。標準校準采用SLOT法，即短路器、開路器、匹配負載及直通法。用戶只要根據(jù)軟件的提示在矢網(wǎng)的兩端口依次接人開路器、短路器、匹配負載，最后直通，即可完成標準校準。非標準校準采用的是STL法，即短路板、精密波導、直通法。非標準校準后，可以保存校準文件，下次測量的時候，可以直接導人校準文件而不需要再進行手動校準。經(jīng)驗證，該校準基本可以達到要求。

1．2 矢網(wǎng)控制模塊

計算機與矢網(wǎng)分析儀連接主要有串口、并口、GPIB等方式。該軟件采用GPIB連接計算機和矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，其優(yōu)點在于：結(jié)構(gòu)、命令簡單，有專為儀器控制設(shè)計的接口信號和牢固的接插件，其數(shù)據(jù)傳輸速率為1．5 Mb／s，完全可以滿足用戶的要求。使用時只需要安裝包含VISA庫函數(shù)的驅(qū)動軟件即可以直接調(diào)用使用相對簡單的VISA標準函數(shù)，再配合相應(yīng)的指令即可控制儀器。目前，通過對HP8753ES網(wǎng)絡(luò)分析儀的控制，軟件運行良好，如圖2所示。

1．3 計算模塊

該測試系統(tǒng)采用的是利用微擾法對介質(zhì)介電常數(shù)進行測量，該方法具有測量簡便，所需樣品少，精度高等優(yōu)點。根據(jù)微擾理論，有：

式中：εr'和εr"分別為介電常數(shù)ε的實部和虛部；f0為諧振腔諧振頻率；△f為微擾后的頻偏；Q0和Qs分別為微擾前后的品質(zhì)因數(shù)；σ為電導率；介質(zhì)桿的體積Vs遠遠小于腔體的體積V0。

根據(jù)以上理論，該測量系統(tǒng)的計算過程分為Q值計算、相對介電常數(shù)計算、損耗角正切計算三部分。對于給定的測量系統(tǒng)，計算精度主要取決于測量腔體的尺寸誤差。由于加工精度的限制，實際加工的腔體與設(shè)計的腔體在尺寸上存在差別。在軟件上，由于腔體Q值及其讀數(shù)分辨率的影響，使f0和微擾后頻率fs的測量出現(xiàn)誤差，也即給△f帶來了誤差。

2 測量結(jié)果

在常溫條件下，對實驗室的一些樣品測量結(jié)果如表1所示(參考值指文獻[10]中的值)。

從表中可以看出，測出的結(jié)果基本與標稱值吻合。

3 誤差分析

該測量系統(tǒng)的誤差主要分為兩部分：校準系統(tǒng)的誤差和測試系統(tǒng)的誤差。

校準系統(tǒng)的誤差主要來自于以下幾個方面：校準波導的反射沒有被考慮；雖然校準波導的反射很小，但是反射的部分會在校準過程中加入到附加網(wǎng)絡(luò)中去，而這部分誤差在測量反射參數(shù)時會產(chǎn)生影響，尤其當被測件的反射比較小時；波導校準和測量過程中，為了操作方便，同時也為了保護儀器，在每次連接波導時，總是將同軸波導轉(zhuǎn)換從同軸電纜上取下，這就會造成每次重新連接時，存在一定的復(fù)位誤差。

測試系統(tǒng)的誤差主要體現(xiàn)在測量腔體的尺寸誤差和讀數(shù)分辨率的影響。另外，不能完全滿足微擾條件而帶來的非線性問題也是誤差的一個主要。

4 結(jié)語

該測試系統(tǒng)完成了利用微擾法對介質(zhì)介電常數(shù)的自動測試，校準測試速度快，具有可擴展性，二次開發(fā)性強。同時，該自動測試的設(shè)計原理及技術(shù)能方便地運用于其他測試項目，解決手動測試中存在的問題，極大地提高了測試的質(zhì)量和效率。