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近日，我國通信巨頭中國移動，通過旗下的兩支產(chǎn)業(yè)基金——北京中移數(shù)字新經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)基金合伙企業(yè)（有限合伙）、上海中移數(shù)字轉型產(chǎn)業(yè)私募基金合伙企業(yè)（有限合伙），入股安徽華鑫微納集成電路有限公司（下文簡稱“華鑫微納”）。與中國移動同期投資華鑫微納的，還有中建材（安徽）新材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)（有限合伙）。本次，中國移動不僅僅只是財務投資華鑫微納這么簡單。

?雖然公開資料未披露本次中國移動、中建材投資華鑫微納的投資金額和股權比例，但隨著這兩家巨頭成為新股東，芯的（上海）集成電路技術有限公司等6家機構集體退出股東序列。而據(jù)此前公開資料顯示，芯的公司等6家機構共計持有華鑫微納股權比例約為66.5859%。此外，隨著本次股權變更，華鑫微納多位公司高管也進行調整，公司注冊地址亦進行變更。據(jù)公眾號【通信頭條】披露消息顯示——該消息未經(jīng)證實，中國移動已委派張偉出任華鑫微納新任董事長。種種信息顯示，中國移動或已全面入主這家新興的國產(chǎn)MEMS芯片代工企業(yè)。中國移動，為什么要控制一條MEMS芯片產(chǎn)線？為什么選擇華鑫微納？

光通信、具身智能、AI……中國移動的戰(zhàn)略轉型，MEMS芯片必不可少

中國移動作為中國三大運營商之首，進入5G時代后，其增長愈發(fā)緩慢，逐漸淪為純粹的數(shù)據(jù)傳輸供應商。為了建立新的業(yè)績增長點，增強在未來智能時代的市場地位，近年來，中國移動加速了其戰(zhàn)略轉型之路。目前，中國移動正從傳統(tǒng)的通信服務、云網(wǎng)融合，通過資本投資、產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟等渠道，利用其雄厚的資金和行業(yè)影響力，進入具身智能、半導體芯片等核心領域，打通未來智能時代的全產(chǎn)業(yè)鏈。資料顯示，截至2025年7月，中國移動已在信息服務產(chǎn)業(yè)鏈投資布局企業(yè)超500家，投資規(guī)模超2000億元，重點聚焦人工智能、衛(wèi)星通信、低空經(jīng)濟等前沿領域。在2025年7月，中國移動具身智能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心牽頭，聯(lián)合宇樹、智元、銀河通用、鈦虎、云深處、戴盟、星動紀元、眾擎等核心生態(tài)伙伴，共同發(fā)起“具身智能產(chǎn)業(yè)合作計劃”，并在12月份，中國移動旗下鏈長基金，獨家億元投資國產(chǎn)觸覺傳感器初創(chuàng)企業(yè)戴盟機器人。相關信息參看中國移動，獨家投了深圳一家傳感器初創(chuàng)企業(yè) 顯然，入主華鑫微納，亦是中國移動戰(zhàn)略轉型的核心一環(huán)。以MEMS技術為核心的微納智能傳感器，是未來智能時代數(shù)據(jù)采集的關鍵入口，亦是具身智能、人形機器人的重要感知部件。常見的MEMS器件主要分為MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器，包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。

?在具身智能機器人領域，MEMS技術是機器人感知系統(tǒng)的重要組成，機器人需要感知環(huán)境（如位置、姿態(tài)、力、溫度、氣體等），MEMS集成了加速度計、陀螺儀、壓力傳感器、力傳感器等傳感器，可以為機器人提供與外部環(huán)境的交互。相關信息參看院士團隊最新綜述：MEMS技術在具身智能機器人中應用的現(xiàn)狀與挑戰(zhàn)

在通信領域，MEMS技術是射頻芯片、光通信的重要基礎技術。射頻MEMS器件分為MEMS濾波器、MEMS開關、MEMS諧振器等。射頻前端模組主要由濾波器、低噪聲放大器、功率放大器、射頻開關等器件組成，其中濾波器是射頻前端中最重要的分立器件，而MEMS技術是5G/6G BAW濾波器的核心制造工藝。

在光通信系統(tǒng)中，需要用光開關來實現(xiàn)光信號的路由和交換，MEMS光開關可以實現(xiàn)高速（納秒級響應）、低損耗（<1dB）、高可靠性的功能，是大容量光通信系統(tǒng)中的關鍵器件。在2025年末，谷歌的TPU以其AI推理訓練能力，震驚全球AI屆，甚至撼動了英偉達的GPU地位。而谷歌TPU集群依賴于光電路交換（OCS）網(wǎng)絡的高吞吐量，OCS的功能核心則基于MEMS微鏡技術。

▲谷歌TPU集群及OCS連接示意圖

由此，MEMS技術串聯(lián)起具身智能、機器人、光通信、5G/6G射頻芯片、AI芯片等等前沿領域——這些領域正是未來智能時代的所在，正是中國移動戰(zhàn)略轉型的方向。為什么選擇華鑫微納？投資超50億元，發(fā)改委、工信部等關注的國家集成電路重大項目，產(chǎn)能達3萬片/月，擁有MEMS微鏡等全面的工藝研發(fā)能力這或許于華鑫微納在MEMS產(chǎn)業(yè)的技術定位有關。華鑫微納成立于2022年3月，項目總投資約50.6億元，產(chǎn)線位于中國（蚌埠）傳感谷東側地塊，項目建設用地150余畝，分二期建設，一期總建筑面積約75000平方米，主要包含生產(chǎn)廠房、動力廠房、生產(chǎn)研發(fā)樓、倉庫等。 2022年11月，華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線項目獲得國家發(fā)改委審批，是國家集成電路生產(chǎn)力布局的重大項目，也是發(fā)改委、工信部、安徽省關注的重大工程項目，項目目標通過自主可控的關鍵核心技術推動中高端MEMS器件的國產(chǎn)化替代進程。華鑫微納定位于8英寸MEMS智能傳感器核心器件制造平臺，是集成硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS單片集成及2.5D/3D微系統(tǒng)技術于一體的開放式、定制化柔性MEMS芯片生產(chǎn)線，擁有慣性傳感器、光MEMS執(zhí)行器（包括光MEMS微鏡、激光雷達掃描鏡、光通信微鏡等）、環(huán)境傳感器（壓力、溫度、氣體、流量等）以及MEMS微流控、MEMS噴墨打印頭、MEMS時鐘諧振器等全面、完善的MEMS產(chǎn)品的工藝研發(fā)和量產(chǎn)能力。

相比國內同類MEMS產(chǎn)線，華鑫微納在產(chǎn)線自動化方面處于國內領先地位，部署了智慧能源、數(shù)字孿生、智能倉儲等系統(tǒng)，已建成國內首條全自動天車系統(tǒng)的8英寸晶圓產(chǎn)線，實現(xiàn)超90%自動化率和近無人化生產(chǎn)。華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線在2023年3月開展基礎施工，同年8月份廠房封頂，2024年9月份設備進場，2025年3月份完成工藝、設備調試，同月，華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線第一片晶圓下線，產(chǎn)線建設歷時2年時間。產(chǎn)能方面，華鑫微納達產(chǎn)后預計月產(chǎn)8英寸晶圓1萬片，到2027年將達到規(guī)劃月產(chǎn)3萬片。

▲華鑫微納MEMS晶圓片展示團隊超20年MEMS芯片研發(fā)經(jīng)驗，體硅工藝領先，聚焦3大類MEMS產(chǎn)品
華鑫微納團隊擁有21年的MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)經(jīng)驗，主要基于體硅工藝研發(fā)陀螺儀、加速度計、光MEMS微鏡等高性能MEMS器件。體硅工藝是MEMS器件三大制造工藝之一，MEMS制造工藝主要包括表面微加工技術、體微加工技術（體硅工藝）、LIGA技術等，目前應用范圍最廣、技術最成熟的為前兩者。相關資料參看《MEMS傳感器芯片是怎樣被制造出來的？》對未來華鑫微納的MEMS代工業(yè)務規(guī)劃，據(jù)華鑫微納副總經(jīng)理張勝兵介紹，華鑫微納聚焦3大部分：第一類為成熟產(chǎn)品，包括硅麥克風等消費級MEMS傳感器，以及壓力、溫度等環(huán)境類MEMS傳感器產(chǎn)品，這部分產(chǎn)品將是華鑫微納未來代工業(yè)務出量的大頭，預計占據(jù)產(chǎn)能的50%~60%。第二類為核心產(chǎn)品，將是華鑫微納高利潤的來源，主要聚焦中高性能的汽車級、工業(yè)級傳感器，譬如車規(guī)級壓力、慣性傳感器，工業(yè)級MEMS光開關、微鏡、MEMS諧振器等，這也是華鑫微納的拳頭產(chǎn)品，預計占據(jù)產(chǎn)能的30%~40%。

第三類為戰(zhàn)略產(chǎn)品，主要為壓電MEMS產(chǎn)品，華鑫微納布局了壓電噴墨頭、壓電微流控等器件，以及電容式MEMS超聲波換能器（CMUT）、微泵、多光譜成像等等先進前沿的MEMS產(chǎn)品技術，預計占據(jù)產(chǎn)能的5%~10%。從成熟產(chǎn)品、核心產(chǎn)品到戰(zhàn)略產(chǎn)品，從消費級MEMS到車規(guī)級、工業(yè)級MEMS，再到壓電MEMS、CMUT等前沿MEMS產(chǎn)品，華鑫微納構建了清晰的階梯級產(chǎn)品規(guī)劃，這個戰(zhàn)略規(guī)劃也展現(xiàn)了華鑫微納的技術優(yōu)勢。據(jù)張勝兵介紹：“可以看到，國內MEMS產(chǎn)品真正成熟能夠上量的，目前大概有三類：麥克風、濾波器和消費級壓力傳感器，但在高性能壓電、慣性、微鏡、噴墨打印頭、時鐘諧振器等等中高端MEMS器件，實際上國內并沒有完全實現(xiàn)量產(chǎn)，這些就是我們的優(yōu)勢。我們團隊以體硅工藝起家，擁有深厚的技術沉淀，工藝技術上完全可以對標國外的MEMS巨頭，譬如TI、Silex、博世等，我們完全可以實現(xiàn)量產(chǎn)性能上的對標，并且在靜電微鏡等一些高端MEMS技術領域，我們還領先了很多企業(yè)?！?/span>
結語種種跡象表明，中國移動這位通信巨頭，親自下場，控制了一條中高端的國產(chǎn)8英寸MEMS 芯片生產(chǎn)線。隨著智能時代的到來，具身智能、機器人、AI、光通信、5G/6G加速普及，MEMS作為這些領域的基礎制造技術，充滿想象空間。
審核編輯黃宇

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