據(jù)麥姆斯咨詢介紹，擁有精密厚度公差和優(yōu)異光學(xué)性能的特種超薄玻璃是制造晶圓級光學(xué)鏡頭、墊片、衍射光學(xué)元件和窄帶濾光片的必要材料，為飛行時間（ToF）、結(jié)構(gòu)光和立體視覺三種3D成像和傳感解決方案的光學(xué)器件提供穩(wěn)定可靠的玻璃?；讵毺氐南吕úＡa(chǎn)技術(shù)，以及玻璃在3D成像和傳感領(lǐng)域長期積累的應(yīng)用經(jīng)驗，肖特集團創(chuàng)造性地推出了適用于3D成像和傳感器件中的特種超薄玻璃。2018年9月10日，由麥姆斯咨詢和上海科技會展有限公司在上?？鐕少彆?a target="_blank">中心主辦的『第二十四屆“微言大義”研討會：3D視覺技術(shù)及應(yīng)用』上，肖特集團業(yè)務(wù)開發(fā)高級經(jīng)理張廣軍先生就特種超薄玻璃技術(shù)及應(yīng)用與在場觀眾進(jìn)行深入的探討和分享！

肖特集團業(yè)務(wù)開發(fā)高級經(jīng)理張廣軍先生發(fā)表題為《應(yīng)用于3D成像和傳感領(lǐng)域的特種超薄玻璃》的演講

特種超薄玻璃可用于三種3D成像和傳感解決方案3D成像和傳感有三種主流方案：時間飛行（ToF）法、結(jié)構(gòu)光法、立體視覺法。張廣軍先生介紹：“肖特的特種超薄玻璃可以用于三種不同的3D成像和傳感方案。具體來講，比如，在發(fā)射端中，特種超薄玻璃可以用于晶圓級光學(xué)和衍射光學(xué)元件（DOE），有的設(shè)計中會需要玻璃墊片。在接收端，我們可以提供玻璃原材料用于窄帶濾光片，以實現(xiàn)窄帶濾光功能。同時，為了達(dá)到更好的光學(xué)分辨率，玻璃可以用于鏡頭墊片。當(dāng)然，玻璃也可以作為鏡頭蓋板以提高強度?！毙ぬ丶瘓F針對3D成像和傳感應(yīng)用開發(fā)了一系列玻璃：硅酸鹽系列，硼硅系列、鋁硅酸鹽系列、鋰鋁硅系列，以及無堿硼硅玻璃，它們的光學(xué)性能、熱膨脹系數(shù)、機械性能和化學(xué)性能各異?？蛻粼谠O(shè)計和選擇時可以根據(jù)自己的組件材料來選擇不同系列的玻璃，以匹配應(yīng)用需求。

肖特集團的特種超薄玻璃系列

六大特色完美契合晶圓級光學(xué)、衍射光學(xué)元件、墊片和窄帶濾光片的需求張廣軍先生介紹了肖特為3D成像和傳感應(yīng)用提供的特種超薄玻璃具有以下六大優(yōu)勢：（1）可重復(fù)性高，批次內(nèi)和批次間的質(zhì)量和穩(wěn)定性非常高；（2）有多種厚度選擇，同時厚度公差非常小，例如±5微米；（3）TTV達(dá)到5微米以下；（4）優(yōu)異的透光率，在可見光和近紅外光范圍內(nèi)都有足夠高的透光率；（5）穩(wěn)定性和可靠性高；（6）符合環(huán)保要求。張廣軍先生具體地講解了肖特如何保證產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性：“肖特采用獨特的下拉法進(jìn)行超薄玻璃制造，該技術(shù)可以將玻璃直接拉出，表面粗糙度低于0.5納米，厚度從30微米到1.1毫米不等?？蛻舨恍枰诒砻孢M(jìn)行任何加工，完全能滿足客戶的光學(xué)要求?！?/p>

肖特采用獨特的下拉法確保特種超薄玻璃的質(zhì)量和穩(wěn)定性

肖特集團可提供厚度范圍很寬的特種超薄玻璃，從30微米到1.1毫米不等?？梢杂糜诰A級光學(xué)、衍射光學(xué)元件、墊片和窄帶濾光片。另外，高鋁硅玻璃還可以用作蓋板。張廣軍先生講到“在3D成像和傳感應(yīng)用中，晶圓級光學(xué)是非常重要的技術(shù)。我們可以提供厚度公差非常小的薄玻璃晶圓，適用于通過半導(dǎo)體晶圓級技術(shù)制造光學(xué)級應(yīng)用的鏡頭。還可以根據(jù)客戶要求的不同厚度定制相應(yīng)的玻璃，滿足厚度公差要求。例如，我們提供的玻璃可以達(dá)到在200~500微米的厚度范圍內(nèi)，厚度公差±5微米，TTV小于5微米，翹曲度（wrap）小于100微米，完全可以滿足晶圓級光學(xué)的要求?！本A級光學(xué)通常是在玻璃上完成聚合物透鏡，需要相當(dāng)高的折射率進(jìn)行匹配。張廣軍先生談到“我們玻璃的折射率在可見光區(qū)域達(dá)1.52，甚至在近紅外光范圍（850納米和940納米）能達(dá)到1.51。我們還能夠提供玻璃其他的性能，協(xié)助客戶在鏡頭設(shè)計時完成模擬工作?！标P(guān)于晶圓級光學(xué)制造過程中膨脹系數(shù)的問題，張廣軍先生認(rèn)為“因為它畢竟是玻璃和聚合物材料的結(jié)合，需要盡量匹配玻璃和聚合物的膨脹系數(shù)，如果不匹配會出現(xiàn)可靠性問題。而肖特提供的玻璃能滿足以上要求，保證產(chǎn)品的可靠性?！睆垙V軍先生還分析了肖特超薄玻璃在墊片中的應(yīng)用：“我們提供結(jié)構(gòu)化玻璃，可以用來做墊片。我們對玻璃進(jìn)行了結(jié)構(gòu)加工，精密性非常高，孔加工尺寸可以精確到±25微米，孔和孔之間位置誤差為±25微米。加工結(jié)構(gòu)可以根據(jù)客戶要求，可制成圓形、三角形或者方形等。就玻璃晶圓尺寸而言，8寸和6寸都可以。玻璃的厚度從0.1毫米到3毫米均可完成?！?/p>

肖特集團提供結(jié)構(gòu)化玻璃用于墊片應(yīng)用

在3D成像和傳感應(yīng)用中，肖特的特種超薄玻璃除了在發(fā)射端用于晶圓級光學(xué)和DOE（包括鏡頭墊片）外，也可以作為接收端的窄帶濾光片。張廣軍先生介紹“我們提供的玻璃原片通過鍍膜可以實現(xiàn)窄帶濾光功能這是因為我們的玻璃有極好的光學(xué)性能，表面經(jīng)過高度優(yōu)化，非常適合后期鍍膜；而且我們采用獨特的下拉法制造工藝，嚴(yán)格控制各種參數(shù)，確保滿足高質(zhì)量鍍膜需求。我們的AF 32 eco 和D 263 T eco玻璃都適合于窄帶濾光片的制作。從可見光到近紅外的光譜范圍內(nèi)，透光性都在91%以上，在850納米和940納米波段接近92%，透光率非常高。”

肖特集團提供的特種超薄玻璃在可見光到近紅外的光譜范圍內(nèi)透光性表現(xiàn)優(yōu)秀

最后，張廣軍先生總結(jié)“肖特的玻璃能夠支持并實現(xiàn)3D成像和傳感的多種解決方案。我們的玻璃種類齊全，可以滿足不同的需求，玻璃優(yōu)異的性能和穩(wěn)定的高質(zhì)量在大規(guī)模量產(chǎn)中已得到證實。無論是玻璃的使用方案，還是在生產(chǎn)中遇到的技術(shù)問題，我們都可以提供專業(yè)技術(shù)指導(dǎo)，幫助大家實現(xiàn)最終光學(xué)產(chǎn)品?！?/p>