近段時(shí)間，中美貿(mào)易之間的對(duì)弈牽動(dòng)了很多行業(yè)的發(fā)展方向，其中微電子行業(yè)的相關(guān)問(wèn)題最為突出。綜合來(lái)看，我國(guó)的微電子行業(yè)還處于發(fā)展階段，核心技術(shù)的缺失及制造工藝方面的不足在此次中美貿(mào)易摩擦中尤為明顯。當(dāng)然，實(shí)現(xiàn)微電子行業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展，除了擁有自主的技術(shù)研發(fā)，還包括很多基礎(chǔ)硬件建設(shè)和環(huán)境保障等方面的因素。在這諸多環(huán)節(jié)中，微電子制造行業(yè)所必須的工業(yè)潔凈廠房就顯得十分重要。

“襁褓中的花朵”

從生產(chǎn)層面上看，微電子產(chǎn)品的制造工序復(fù)雜且繁多，其中許多關(guān)鍵工藝需要在恒溫、恒濕、超潔凈的無(wú)塵環(huán)境下進(jìn)行。但其中部分大中型生產(chǎn)設(shè)備會(huì)釋放出高濃度顆粒物和化學(xué)物質(zhì)，這些物質(zhì)都會(huì)引發(fā)生產(chǎn)的良品率下降及其他生產(chǎn)安全隱患。因此，微電子行業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)和潔凈效果有非常高的要求和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備以及材料協(xié)會(huì)SEMI發(fā)布的關(guān)于-AMC（化學(xué)氣態(tài)分子污染物）分類標(biāo)準(zhǔn)

微電子行業(yè)的工業(yè)潔凈廠房一般是相對(duì)密閉的空間，通常高級(jí)別潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)采用布置靈活的FFU送風(fēng)方式，該方式解決了傳統(tǒng)送風(fēng)方式不能使用工藝布局和凈化等級(jí)要求變化的問(wèn)題。不過(guò)，微電子行業(yè)的工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)和實(shí)施是一項(xiàng)綜合技術(shù)，并非只是安裝設(shè)備那么簡(jiǎn)單，只有充分了解微電子行業(yè)工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，做到設(shè)計(jì)合理和選型適當(dāng)，才能滿足其對(duì)空氣潔凈效果的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)和要求。

為“中國(guó)芯”護(hù)航

隨著中國(guó)逐漸從“制造大國(guó)”向“智造大國(guó)”轉(zhuǎn)型，國(guó)內(nèi)涌現(xiàn)出一批知名的高科技制造企業(yè)，多個(gè)高科技項(xiàng)目也在全國(guó)多地落實(shí)并實(shí)施。近期在合肥投建的合肥長(zhǎng)鑫集成電路12寸晶圓廠尤為引人注目，該晶圓廠將重點(diǎn)研發(fā)19nm制程工藝生產(chǎn)DRAM（動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器），項(xiàng)目投產(chǎn)后，最大月產(chǎn)高達(dá)12.5萬(wàn)片規(guī)模，將有效地填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端DRAM制造業(yè)的空白，在全球DRAM生產(chǎn)廠商中占得一席之地。除此之外，該項(xiàng)目的投產(chǎn)也將帶動(dòng)整個(gè)地區(qū)包括設(shè)備、材料、終端等多方面的綜合發(fā)展。可以說(shuō)，該晶圓廠的投產(chǎn)將加速合肥市產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的步伐。有消息表明，到2025年中國(guó)將投產(chǎn)新建約25條12寸晶圓項(xiàng)目，一舉打破國(guó)外公司的壟斷體系。

不過(guò)，該晶圓廠在廠房建設(shè)、設(shè)備采購(gòu)過(guò)程中也遇到了一些困難。從技術(shù)角度看，在使用19nm制程工藝生產(chǎn)DRAM時(shí)，該工藝下黃光光刻區(qū)對(duì)AMCs氣體極其敏感，工作區(qū)域中的潔凈空氣質(zhì)量稍有偏差就會(huì)直接影響最終生產(chǎn)的良品率，所以，整個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中都需要嚴(yán)格控制AMCs制程環(huán)境濃度值。因此，他們對(duì)工業(yè)潔凈產(chǎn)房的空氣凈化解決方案提出了嚴(yán)格要求：需要按照不同區(qū)域的要求控制AMCs的指標(biāo)，同時(shí)需要分子過(guò)濾器初始效率達(dá)到90%以上，最終效率達(dá)到70%，使用壽命大于一年。

AAF作為潔凈空氣解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者，在近百年的歷史中一直致力于為微電子行業(yè)開(kāi)發(fā)高效節(jié)能的過(guò)濾解決方案，包括顆粒物和AMC (分子氣態(tài)污染物) 過(guò)濾，全系列產(chǎn)品覆蓋了粗中高效空氣過(guò)濾器、化學(xué)過(guò)濾器、高效送風(fēng)口、FFU/EFU、層流罩及DBS化學(xué)氣體尾氣排放處理等凈化設(shè)備。應(yīng)對(duì)這種高等級(jí)并復(fù)雜的潔凈工藝的需求，AAF采用了FFU加載化學(xué)氣體處理的解決方案，在FFU上方疊加兩臺(tái)化學(xué)過(guò)濾器，并提供了AMCs現(xiàn)場(chǎng)采樣測(cè)試，對(duì)實(shí)際環(huán)境中的空氣質(zhì)量數(shù)據(jù)進(jìn)行快速準(zhǔn)確的提取和整理，并依此制定合理的解決方案。

其中，AAF AstroFan? FFU配套了 MEGAcel?ePTFE高效&超高效過(guò)濾器，搭載VariSorb?CE化學(xué)過(guò)濾器的整體潔凈解決方案。方案實(shí)施后，生產(chǎn)區(qū)域的空氣整體凈化效果及相關(guān)測(cè)試驗(yàn)證得到了客戶的認(rèn)可。

品控嚴(yán)格，測(cè)試體系完備

一直以來(lái)，AAF以保護(hù)環(huán)境、降低企業(yè)風(fēng)險(xiǎn)和減少空氣凈化支出為己任，從某種程度上來(lái)說(shuō)，其產(chǎn)品的精益求精同樣來(lái)源于自身的實(shí)踐。AAF本身就擁有高潔凈等級(jí)的萬(wàn)級(jí)PTFE潔凈室、高效過(guò)濾器潔凈室和FFU潔凈室，以及工商業(yè)過(guò)濾器生產(chǎn)線。AAF以先進(jìn)的設(shè)備、標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)工藝和嚴(yán)苛的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)。

并且AAF 擁有一套完備的測(cè)試體系。從粗中效過(guò)濾器到高效、超高效過(guò)濾器，乃至過(guò)濾設(shè)備，AAF皆依據(jù)行業(yè)最先進(jìn)的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)產(chǎn)品性能進(jìn)行全方位的檢測(cè)。

2016年9月，AAF在美國(guó)印第安納州成立了清潔空氣創(chuàng)新與研究中心，展現(xiàn)出了致力于革命性地改變空氣過(guò)濾的決心。該中心代表了AAF和全球空氣過(guò)濾行業(yè)在研究、開(kāi)發(fā)和測(cè)試方面取得的重大進(jìn)展。AAF清潔空氣中心的工程師和科學(xué)家正在將下一代高性能空氣過(guò)濾產(chǎn)品和設(shè)備推向市場(chǎng)。