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美國(guó)研發(fā)首款全固態(tài)中紅外激光束轉(zhuǎn)向控制器件

MEMS ? 來源:cg ? 2018-12-03 14:53 ? 次閱讀
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毫無疑問,隨著時(shí)間的推移機(jī)械設(shè)備總是更容易損壞,機(jī)械激光束轉(zhuǎn)向系統(tǒng)以及家用汽車均是如此。特別是對(duì)于化學(xué)傳感和激光雷達(dá)(LiDAR)應(yīng)用,中紅外光束掃描需要速度和可靠性,而機(jī)械運(yùn)動(dòng)反射鏡和旋轉(zhuǎn)棱鏡等光束控制機(jī)構(gòu)往往速度較慢且能耗較大。據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,美國(guó)科學(xué)家設(shè)計(jì)開發(fā)了一種用于中紅外激光束的非機(jī)械芯片轉(zhuǎn)向器件。與萬向驅(qū)動(dòng)反射鏡等類似技術(shù)相比,該芯片可以實(shí)現(xiàn)3 ~ 5um波長(zhǎng)光束的二維連續(xù)掃描,且掃描速度更快。該芯片由美國(guó)海軍研究實(shí)驗(yàn)室(U.S. Naval Research Laboratory, NRL)開發(fā)制造,是一種固態(tài)器件,被稱為“可控電瞬變光學(xué)折射鏡”(Steerable electro-evanescent optical refractor, SEEOR)。這些芯片已經(jīng)在電信波長(zhǎng)下的光束轉(zhuǎn)向中展示了應(yīng)用前景,未來有可能進(jìn)入自動(dòng)駕駛汽車領(lǐng)域。NRL科學(xué)家認(rèn)為他們的SEEOR是第一款可以在中紅外波段運(yùn)行的器件。

SEEOR芯片可將中波紅外激光輸入光,在無需機(jī)械裝置的情況下,在輸出端以二維方式控制光束轉(zhuǎn)向SEEOR看起來像一個(gè)襯底上有多層薄膜的小三明治,側(cè)面看起來像一個(gè)梯形的硅片。該三明治結(jié)構(gòu)包含厚度約為1.2um硫系玻璃無源波導(dǎo)芯、液晶層和帶有圖案電極的蓋玻片。整個(gè)芯片長(zhǎng)48.5mm,寬14.5mm,深2.75mm。源自4.6um波長(zhǎng)量子級(jí)聯(lián)激光器的準(zhǔn)直光在一端進(jìn)入SEEOR,施加到電極的電壓重新定向液晶分子,從而以受控模式改變其折射率。這款概念驗(yàn)證器件可以在14°x 0.6°的二維范圍內(nèi)轉(zhuǎn)向操縱中紅外光束。不過,只有約3%的入射光能夠從SEEOR的另一端射出,但NRL科學(xué)家表示,通過添加抗反射涂層和其他優(yōu)化來減少內(nèi)部散射,可以大大提高光通過量。

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原文標(biāo)題:美國(guó)科學(xué)家開發(fā)出首款全固態(tài)中紅外激光束轉(zhuǎn)向控制器件

文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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