改革開放以來，我國電子信息產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了從無到有、從小到大的重大轉(zhuǎn)變，在國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展中的地位和作用顯著提升。特別是黨的十八大以來，我國電子信息產(chǎn)業(yè)不斷取得新進(jìn)展，核心技術(shù)逐步突破，市場規(guī)模不斷擴(kuò)大，專利和標(biāo)準(zhǔn)化成果豐碩。為集中反映我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的方方面面，中國電子報(bào)特別策劃推出“改革開放40年·電子信息產(chǎn)業(yè)”特刊，邀請主管部門、專家學(xué)者撰寫文章，從集成電路、電子應(yīng)用、電子專用設(shè)備、電子材料、超高清視頻產(chǎn)業(yè)、彩電、電子元件、傳感器等方面，講述改革開放以來電子信息產(chǎn)業(yè)各領(lǐng)域的主要成就，提出新時(shí)代我國電子信息產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的思路建議。

作為電子信息制造業(yè)的重要一環(huán)，電子專用設(shè)備在產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著重要的基礎(chǔ)性支撐作用，是推動電子信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的根基，也是推動電子信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步的引擎。裝備強(qiáng)則國強(qiáng)，我國改革開放以來，中國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了從“0”到“1”的跨越，從無到有，聚沙成塔。如今，隨著中國成為全球半導(dǎo)體版圖中最具活力的土地，中國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)也迎來了發(fā)展的黃金時(shí)期。

千錘百煉見證產(chǎn)業(yè)成長與突破

我國電子專用設(shè)備行業(yè)在改革開放前非常弱小，尚未形成完整的產(chǎn)業(yè)鏈。國營第七○○廠(北方華創(chuàng)前身)、國營第七○八廠、國營第七○九廠、電子45所、電子48所等電子專用設(shè)備企業(yè)及研究所僅能研發(fā)和制造一些粗放型的基礎(chǔ)設(shè)備，在計(jì)劃經(jīng)濟(jì)模式下自給自足。

改革開放初期，隨著國際市場的逐步開放，以及國外先進(jìn)技術(shù)的引進(jìn)，我國電子專用設(shè)備業(yè)逐漸開啟了“以市場換技術(shù)”的拓展模式，全國范圍內(nèi)采購了不少生產(chǎn)線，基本都是整線采購國外成線或二手線。而此時(shí)剛剛從計(jì)劃經(jīng)濟(jì)體制中“斷奶”的國營設(shè)備企業(yè)和研究所，沒訂單、經(jīng)驗(yàn)淺，非常不受市場青睞。一時(shí)間，國內(nèi)專用設(shè)備企業(yè)備受沖擊。

20世紀(jì)八九十年代，中國電子專用設(shè)備行業(yè)遭遇冷板凳后，各設(shè)備廠商都在艱難爬坡，努力改變局面。

以國營第七○○廠為例，企業(yè)甚至先后嘗試了洗衣機(jī)、過載保護(hù)器、負(fù)離子發(fā)生器、醫(yī)療腎石機(jī)等各類設(shè)備的生產(chǎn)。之所以這樣做，一方面，在不斷尋找市場，尋找賴以生存的產(chǎn)品;另一方面，看好中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的未來，因此一直堅(jiān)守設(shè)備陣地。當(dāng)時(shí)，國營第七○○廠與美國某半導(dǎo)體設(shè)備公司進(jìn)行合作，在北京設(shè)立了該公司在中國的第一家客戶服務(wù)支持中心。之后，雙方又開展合作，成立了研發(fā)先進(jìn)刻蝕機(jī)技術(shù)的合資公司。盡管后來項(xiàng)目被取消，但這些合作項(xiàng)目都為我國培養(yǎng)了一批掌握當(dāng)時(shí)先進(jìn)研發(fā)技術(shù)和服務(wù)能力的專業(yè)人才，這些人才中很多直到現(xiàn)在還一直奉獻(xiàn)和服務(wù)于國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，而且在企業(yè)中發(fā)揮著不可替代的骨干作用。

而隨著真空開關(guān)管、彩色顯像管等設(shè)備的技術(shù)難關(guān)不斷被攻克，國產(chǎn)設(shè)備業(yè)重見曙光，并迅速實(shí)現(xiàn)了這些設(shè)備的全面國產(chǎn)化。

厚積薄發(fā)踏上高速發(fā)展快車道

進(jìn)入新世紀(jì)，伴隨著新能源光伏、LED行業(yè)的興起，中國電子專用設(shè)備行業(yè)踏上高速發(fā)展的快車道。在光伏領(lǐng)域，晶硅太陽能電池片整線生產(chǎn)設(shè)備逐步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，國內(nèi)市場占有率超過90%，并實(shí)現(xiàn)整線出口，2018年銷售收入預(yù)計(jì)達(dá)到50億元;LED領(lǐng)域，國產(chǎn)裝備在最關(guān)鍵的MOCVD設(shè)備上取得重要進(jìn)展，刻蝕機(jī)、PVD和PECVD等產(chǎn)品不斷推陳出新，國產(chǎn)化率也達(dá)到了90%，部分產(chǎn)品憑借優(yōu)越的產(chǎn)品性能和性價(jià)比，遠(yuǎn)銷海外。

同時(shí)，中國集成電路產(chǎn)業(yè)及配套裝備產(chǎn)業(yè)在政府的日趨重視下，也進(jìn)入了快速追趕階段。一批12英寸高端集成電路制造裝備實(shí)現(xiàn)了從無到有的突破，國產(chǎn)12英寸28nm集成電路芯片關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)入主流生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，14nm刻蝕機(jī)、PVD、LPCVD、單片退火、光學(xué)檢測、ALD、PECVD等設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)銷售?？梢哉f，經(jīng)過40年的奮斗，國內(nèi)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)的競爭格局發(fā)生了根本改變，國產(chǎn)設(shè)備能夠滿足很多制造領(lǐng)域的需求，并在一定程度上推動了我國光伏、LED、平板顯示、MEMS、封裝等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

機(jī)遇難逢共建自主開放產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈

改革開放40年來，中國電子專用設(shè)備整體技術(shù)水平已經(jīng)取得長足進(jìn)步，逐步實(shí)現(xiàn)從“替代者”到“創(chuàng)新者”的角色轉(zhuǎn)變，在全球產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈中不斷尋找自己的特色發(fā)展之路，但想要在國際競爭中占有一席之位，目前還面臨著諸多難題和考驗(yàn)，需要業(yè)內(nèi)人士共同努力。

首先，提高先進(jìn)技術(shù)開發(fā)能力，縮短新設(shè)備驗(yàn)證周期。目前國產(chǎn)設(shè)備技術(shù)水平還處于弱勢地位，需加強(qiáng)與龍頭用戶或國際研究機(jī)構(gòu)的戰(zhàn)略合作，以加強(qiáng)下一代新技術(shù)的研發(fā)，在客戶初始研發(fā)階段參與其中，才能取得市場先機(jī)。國產(chǎn)裝備從研發(fā)到定型，再到生產(chǎn)線DEMO驗(yàn)證，需要經(jīng)過大量的工藝實(shí)驗(yàn)，并不斷改型優(yōu)化，最后在客戶生產(chǎn)線上需要經(jīng)過近一年的DEMO驗(yàn)證，設(shè)備生產(chǎn)性能全面達(dá)標(biāo)后方能形成采購意向，實(shí)現(xiàn)銷售。如此高昂的工藝試驗(yàn)費(fèi)用，需要很強(qiáng)的融資能力和經(jīng)濟(jì)實(shí)力，也需要來自產(chǎn)業(yè)各界的持續(xù)支持，讓國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)能夠真正參與到最先進(jìn)生產(chǎn)線制程的工藝研發(fā)中，與國內(nèi)IDM企業(yè)開展深度合作，促進(jìn)核心工藝設(shè)備的研發(fā)和評估。與此同時(shí)，加快企業(yè)研發(fā)成果的市場化進(jìn)程，也亟須多渠道、集中資金和政策支持發(fā)展龍頭裝備商，打造綜合競爭力，重拳出擊，突破核心工藝設(shè)備瓶頸。

其次，亟須打造更健康自主的產(chǎn)業(yè)環(huán)境，營造本土產(chǎn)業(yè)“生態(tài)圈”。知名半導(dǎo)體行業(yè)專家莫大康說過：“‘引進(jìn)’猶如踩在別人肩膀上走路，容易受制于人。改革開放40年的教訓(xùn)告訴我們，先進(jìn)的技術(shù)是買不來的，先進(jìn)的設(shè)備也是買不來的，我們必須兩條腿走路，自力更生更重要?！蹦壳?，我國高端集成電路裝備整機(jī)約70%的零部件長期依賴進(jìn)口且價(jià)格居高不下，在一定程度上削弱了我國高端裝備的整體競爭力，自力更生對半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件的供應(yīng)問題來說，尤為重要。為此，建議從國家層面加大對核心零部件、關(guān)鍵原材料的布局，提升芯片制造企業(yè)對國產(chǎn)裝備、零部件的支持力度，不斷提高核心零部件的本地配套能力。

再次，加快國內(nèi)外的整合兼并。縱觀國際半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展歷程，國際龍頭企業(yè)基本都經(jīng)歷了自身發(fā)展與國際并購相結(jié)合的模式，形成大者恒大的局面，壟斷趨勢越來越明顯。中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)要與國際巨頭競爭，必須提高自身的競爭實(shí)力，這需要加強(qiáng)各設(shè)備企業(yè)的互相協(xié)同，推動企業(yè)間的兼并整合，提升企業(yè)在對外并購中的競爭實(shí)力。

最后，加快人才培養(yǎng)速度，改善人才機(jī)制。集成電路裝備是人才密集的產(chǎn)業(yè)，需要大量的高素質(zhì)研發(fā)人才，人才是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素之一。經(jīng)過近十年的發(fā)展，我國集成電路裝備人才隊(duì)伍迅速壯大，一批高端人才加盟到國內(nèi)的研發(fā)隊(duì)伍中，形成了一支極具創(chuàng)新力的人才隊(duì)伍，擁有數(shù)千項(xiàng)專利，初步形成了較為完善的知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)體系。但相比快速發(fā)展的產(chǎn)業(yè)，人才的缺口依然很大，需求依然很急迫。政府要聯(lián)合高校、科研機(jī)構(gòu)加大人才培養(yǎng)規(guī)模，加快人才培養(yǎng)速度。同時(shí)企業(yè)也要改善激勵(lì)機(jī)制，以吸引更多高端人才加盟。

2018年，全球半導(dǎo)體制造設(shè)備的銷售額預(yù)計(jì)將達(dá)到621億美元，將創(chuàng)歷史新高，中國大陸排名將首次上升至第二名。全球集成電路制造業(yè)向中國大陸轉(zhuǎn)移大趨勢不可逆轉(zhuǎn)，機(jī)遇千載難逢，亟須業(yè)界同仁，聚力同心，開放創(chuàng)新，產(chǎn)學(xué)研結(jié)合發(fā)展，吸引更多力量參與到電子專用設(shè)備行業(yè)中來，共建自主、開放的產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈。