ADI高校講座系列：MEMS（1）
微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術，廣泛應用于高新技術產業(yè)，是一項關系到國家的科技發(fā)展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。
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