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陶瓷基板工藝流程

工程師 ? 來(lái)源:未知 ? 作者:姚遠(yuǎn)香 ? 2019-05-21 16:11 ? 次閱讀
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氧化鋁陶瓷基板的機(jī)械強(qiáng)度高,且絕緣性和避光性較好,在多層布線陶瓷基板、電子封裝及高密度封裝基板中收到了廣泛應(yīng)用。但目前國(guó)內(nèi)在氧化鋁陶瓷基板的生產(chǎn)中存在一些問(wèn)題,例如燒結(jié)溫度過(guò)高等,導(dǎo)致我國(guó)在該部件的應(yīng)用主要依靠進(jìn)口。小編今天針對(duì)氧化鋁陶瓷基板的工藝展開(kāi)概述。

一、氧化鋁陶瓷基板的晶體結(jié)構(gòu)、分類及性能

氧化鋁有許多同質(zhì)異晶體,例如α-Al2o3、β-Al2o3、γ-Al2o3等,其中以α-Al2o3的穩(wěn)定性較高,其晶體結(jié)構(gòu)緊密、物理性能與化學(xué)性能穩(wěn)定,具有密度與機(jī)械強(qiáng)度較高的優(yōu)勢(shì),在工業(yè)中的應(yīng)用也較多。

氧化鋁陶瓷通過(guò)氧化鋁純度進(jìn)行分類,氧化鋁純度為》99%被稱為剛玉瓷,氧化鋁純度為99%、95%和90%左右被稱為99瓷、95瓷和90瓷,含量》 85%的氧化鋁陶瓷一般稱為高鋁瓷。99.5%氧化鋁陶瓷的體積密度為3.95g/cm3,抗彎強(qiáng)度為395MPa,線性膨脹系數(shù)為8.1×10-6,熱導(dǎo)率為32W/(m·K),絕緣強(qiáng)度為18KV/mm。

二、黑色氧化鋁陶瓷基板制造工藝

黑色氧化鋁陶瓷基板多用于半導(dǎo)體集成電路及電子產(chǎn)品中,這主要是由于大部分電子產(chǎn)品具有高光敏性,需要封裝材料具有較強(qiáng)的遮光性,才能夠保障數(shù)碼顯示的清晰度,因此,多采用黑色氧化鋁陶瓷基板進(jìn)行封裝。隨著現(xiàn)代電子元件不斷更新,對(duì)于黑色氧化鋁封裝基板的需求也不斷擴(kuò)大,目前國(guó)內(nèi)外均積極開(kāi)展對(duì)黑色氧化鋁陶瓷制造工藝的研究。

電子產(chǎn)品封裝中使用的黑色氧化鋁陶瓷,基于其應(yīng)用領(lǐng)域的需求,黑色著色料的選擇需要結(jié)合陶瓷原材料的性能。例如需要考慮到其陶瓷原材料需要具備較好的電絕緣性,因此,黑色著色料除了考慮到陶瓷基板的最終著色度、機(jī)械強(qiáng)度外,同時(shí)還要考慮到其電絕緣性、隔熱性及電子封裝材料的其他功能。在陶瓷著色過(guò)程中,低溫環(huán)境可能促使著色料的揮發(fā)性受到影響而保溫一定時(shí)間,在此過(guò)程中,游離狀態(tài)著色物可能集結(jié)成尖晶石類化合物,能夠避免著色料在高溫環(huán)境下持續(xù)揮發(fā),保障著色效果。

三、流延法制造黑色氧化鋁陶瓷基板工藝

流延法是指在陶瓷粉料中加入溶劑、分散劑、粘結(jié)劑、增塑劑等物質(zhì),從而使?jié){料分布均勻,然后在流延機(jī)上制成不同規(guī)格陶瓷片的制造工藝,也被稱為刮刀成型法。該工藝最早出現(xiàn)于上世紀(jì)40年代后期,被用于生產(chǎn)陶瓷片層電容器,該工藝的優(yōu)點(diǎn)在于:

(1)設(shè)備操作簡(jiǎn)單,生產(chǎn)高效,能夠進(jìn)行連續(xù)操作且自動(dòng)化水平較高;

(2)胚體密度及膜片彈性較大;

(3)工藝成熟;

(4)生產(chǎn)規(guī)格可控且范圍較廣。

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