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中科院半導(dǎo)體所

文章:1441 被閱讀:477.1w 粉絲數(shù):293 關(guān)注數(shù):0 點(diǎn)贊數(shù):46

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什么是凹槽效應(yīng)?什么原因引起的?怎么抑制這種異常效應(yīng)呢?

在刻蝕SOI襯底時(shí),通常會(huì)發(fā)生一種凹槽效應(yīng),導(dǎo)致刻蝕的形貌與預(yù)想的有很大出入。那么什么是凹槽效應(yīng)?什....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-11 18:18 ?3188次閱讀
什么是凹槽效應(yīng)?什么原因引起的?怎么抑制這種異常效應(yīng)呢?

SKiN技術(shù)到底是什么樣的

SKiN技術(shù)由2011年開(kāi)始使用,包括將芯片燒結(jié)到DCB基板,將芯片的頂部側(cè)燒結(jié)到柔性電路板,以及將....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-11 10:12 ?1839次閱讀
SKiN技術(shù)到底是什么樣的

什么是SOI襯底?SOI襯底的優(yōu)勢(shì)是什么?

SOI是Silicon-On-Insulator的縮寫(xiě)。直譯為在絕緣層上的硅。實(shí)際的結(jié)構(gòu)是,硅片上有....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-10 18:14 ?6398次閱讀
什么是SOI襯底?SOI襯底的優(yōu)勢(shì)是什么?

為什么叫shot?為什么shot比掩膜版尺寸小很多?

其中,步進(jìn)投影式光刻機(jī)(stepper)的一個(gè)shot一個(gè)shot進(jìn)行曝光的,并不是一整張晶圓同時(shí)曝....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-09 18:13 ?11014次閱讀
為什么叫shot?為什么shot比掩膜版尺寸小很多?

微溝槽效應(yīng)的產(chǎn)生機(jī)理是什么?有什么表現(xiàn)?怎么抑制這種現(xiàn)象?

在干法的深刻蝕過(guò)程中,精細(xì)的刻蝕控制成為一個(gè)至關(guān)重要的因素,它直接影響到芯片的性能。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-08 18:10 ?4528次閱讀
微溝槽效應(yīng)的產(chǎn)生機(jī)理是什么?有什么表現(xiàn)?怎么抑制這種現(xiàn)象?

Cu-Clip互連技術(shù)有哪些特點(diǎn)呢?

Cu-Clip技術(shù),它可以應(yīng)用在很多模塊封裝形式當(dāng)中。它的特點(diǎn)有:降低寄生電感和電阻,增加載流能力,....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-07 18:18 ?3046次閱讀
Cu-Clip互連技術(shù)有哪些特點(diǎn)呢?

Rigid-Flex的多層疊該如何設(shè)計(jì)呢?

Rigid-Flex剛?cè)犭娐返娜筇卣魇?Multi-bending(多彎曲),Multi-stac....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-07 17:17 ?2447次閱讀
Rigid-Flex的多層疊該如何設(shè)計(jì)呢?

鈮酸鋰基光量子器件與集成技術(shù)的機(jī)遇與挑戰(zhàn)

近年來(lái),量子光學(xué)得到了迅速發(fā)展,不僅僅表現(xiàn)在量子物理基礎(chǔ)研究取得一系列突破,光量子信息也逐步走出實(shí)驗(yàn)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-07 14:51 ?1847次閱讀
鈮酸鋰基光量子器件與集成技術(shù)的機(jī)遇與挑戰(zhàn)

無(wú)線充電是如何做到不用數(shù)據(jù)線就能輕松充電的呢?

現(xiàn)如今,手機(jī)幾乎已經(jīng)成了現(xiàn)代人的標(biāo)配。出門(mén)在外,可以不帶錢(qián)包,但是不能忘記手機(jī),可是手機(jī)沒(méi)電了怎么辦....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-07 14:48 ?3178次閱讀
無(wú)線充電是如何做到不用數(shù)據(jù)線就能輕松充電的呢?

什么是刻蝕的選擇性?刻蝕選擇比怎么計(jì)算?受哪些因素的影響呢?

刻蝕(或蝕刻)是從晶圓表面去除特定區(qū)域的材料以形成相應(yīng)微結(jié)構(gòu)。但是,在目標(biāo)材料被刻蝕時(shí),通常伴隨著其....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-07 14:19 ?11050次閱讀
什么是刻蝕的選擇性?刻蝕選擇比怎么計(jì)算?受哪些因素的影響呢?

干法刻蝕的負(fù)載效應(yīng)是怎么產(chǎn)生的?有什么危害?如何抑制呢?

有過(guò)深硅刻蝕的朋友經(jīng)常會(huì)遇到這種情況:在一片晶圓上不同尺寸的孔或槽刻蝕速率是不同的。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-07 11:29 ?7955次閱讀
干法刻蝕的負(fù)載效應(yīng)是怎么產(chǎn)生的?有什么危害?如何抑制呢?

CD-SEM是怎樣測(cè)線寬呢?CD-SEM與普通SEM有哪些區(qū)別?

CD-SEM,全名Critical Dimension Scanning Electron Micr....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 10-07 10:34 ?12014次閱讀
CD-SEM是怎樣測(cè)線寬呢?CD-SEM與普通SEM有哪些區(qū)別?

如何使用壓縮空氣制冷?渦流管—麥克斯韋妖管

在炎熱的夏天,我們總是渴望空氣變得涼爽些。通過(guò)一個(gè)管子就可以實(shí)現(xiàn)我們的目的。這個(gè)神奇的管子叫做渦流管....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-27 18:22 ?10076次閱讀
如何使用壓縮空氣制冷?渦流管—麥克斯韋妖管

干法刻蝕與濕法刻蝕各有什么利弊?

在半導(dǎo)體制造中,刻蝕工序是必不可少的環(huán)節(jié)。而刻蝕又可以分為干法刻蝕與濕法刻蝕,這兩種技術(shù)各有優(yōu)勢(shì),也....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-26 18:21 ?9938次閱讀
干法刻蝕與濕法刻蝕各有什么利弊?

半導(dǎo)體所等在莫爾異質(zhì)結(jié)層間激子研究方面取得進(jìn)展

近日,新加坡南洋理工大學(xué)高煒博教授與中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體超晶格國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室張俊研究員合作,....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-25 10:14 ?1415次閱讀
半導(dǎo)體所等在莫爾異質(zhì)結(jié)層間激子研究方面取得進(jìn)展

面向集成電路產(chǎn)業(yè)的電子電鍍研究方法

電子信息與科學(xué)技術(shù)的迅猛進(jìn)展, 極大地提升了國(guó)民經(jīng)濟(jì)生活水平、引領(lǐng)者科技進(jìn)步和社會(huì)前進(jìn), 關(guān)乎國(guó)家發(fā)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-22 16:02 ?1125次閱讀

一文詳解TIRF和SPR成像系統(tǒng)的環(huán)形照明

眾所周知,入射角的正弦值與折射角的正弦值滿(mǎn)足如下關(guān)系:n1sin(i)=n2sin(r) ,假設(shè)n1....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-20 18:24 ?5761次閱讀
一文詳解TIRF和SPR成像系統(tǒng)的環(huán)形照明

理論物理學(xué)中的一個(gè)重要數(shù)學(xué)函數(shù)

δ函數(shù)實(shí)際上不需要專(zhuān)門(mén)在x等于0時(shí)處于尖峰,我們實(shí)際上可以將尖峰移動(dòng)到不同的位置。如果我們?nèi)∫蜃兞縳....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-18 15:53 ?1147次閱讀
理論物理學(xué)中的一個(gè)重要數(shù)學(xué)函數(shù)

磷化氫在半導(dǎo)體工藝中的用途

PH? 是常用的n型摻雜氣體。什么是n型摻雜?硅是四價(jià)元素,每個(gè)硅原子與四個(gè)鄰近的硅原子共享電子形成....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-18 14:50 ?4476次閱讀
磷化氫在半導(dǎo)體工藝中的用途

通向大貝里曲率的新途徑簡(jiǎn)析

包括 Ising 在內(nèi)的黎民百姓,崇尚眼見(jiàn)為實(shí),在周?chē)鷮?shí)空間中看到什么就描述什么。這是認(rèn)識(shí)客觀世界的....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-15 09:48 ?1385次閱讀
通向大貝里曲率的新途徑簡(jiǎn)析

詳細(xì)講解核輻射和量子隧穿

1896年,當(dāng)時(shí)法國(guó)物理學(xué)家亨利·貝克勒爾聽(tīng)說(shuō)了最近發(fā)現(xiàn)的X射線,他決定尋找發(fā)射出類(lèi)似于X射線的東西....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-11 11:37 ?1605次閱讀
詳細(xì)講解核輻射和量子隧穿

詳細(xì)講解傅里葉變換

提到傅里葉變換,你是不是又想起了大學(xué)課程里被它支配的恐懼。其實(shí),傅里葉分析不僅僅是一個(gè)數(shù)學(xué)工具,更是....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-11 11:21 ?5268次閱讀
詳細(xì)講解傅里葉變換

常見(jiàn)的晶圓顯影方式

晶圓顯影過(guò)程是光刻工序中必不可少的步驟,顯影過(guò)程已經(jīng)經(jīng)歷了幾十年的創(chuàng)新和進(jìn)步。那么常見(jiàn)的顯影方式有幾....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-11 11:19 ?2855次閱讀
常見(jiàn)的晶圓顯影方式

利用量子的冷原子測(cè)量真空壓力

真空壓力是指在一個(gè)封閉的容器中,幾乎沒(méi)有任何物質(zhì)存在時(shí),容器壁上所受到的壓力。這種壓力是由于容器內(nèi)部....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-11 11:09 ?1016次閱讀

集成電路為什么要做失效分析?失效分析流程?

失效分析(FA)是根據(jù)失效模式和現(xiàn)象,通過(guò)分析和驗(yàn)證,模擬重現(xiàn)失效的現(xiàn)象,找出失效的原因,挖掘出失效....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-06 10:28 ?4211次閱讀
集成電路為什么要做失效分析?失效分析流程?

濕法去膠液的種類(lèi)有哪些?去膠液都有哪些種類(lèi)?去膠原理是什么?

光刻技術(shù)通過(guò)光刻膠將圖案成功轉(zhuǎn)移到硅片上,但是在相關(guān)制程結(jié)束后就需要完全除去光刻膠,那么這個(gè)時(shí)候去膠....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 09-06 10:25 ?5676次閱讀
濕法去膠液的種類(lèi)有哪些?去膠液都有哪些種類(lèi)?去膠原理是什么?

高功率、低噪聲量子點(diǎn)DFB單模激光器研究進(jìn)展

分布反饋 (DFB) 激光器具有結(jié)構(gòu)緊湊、動(dòng)態(tài)單模等特性,是高速光通信、大規(guī)模光子集成、激光雷達(dá)和微....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 08-31 15:49 ?1810次閱讀
高功率、低噪聲量子點(diǎn)DFB單模激光器研究進(jìn)展

磁放大器如何實(shí)現(xiàn)放大功能?

20世紀(jì)50年代和60年代人們見(jiàn)證了磁放大器的復(fù)興,在此期間,磁放大器被廣泛應(yīng)用于航空航天等其他行業(yè)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 08-31 15:16 ?4032次閱讀
磁放大器如何實(shí)現(xiàn)放大功能?

半導(dǎo)體所等在手性分子產(chǎn)生自旋極化研究的進(jìn)展

利用手性與自旋極化的相互轉(zhuǎn)換產(chǎn)生自旋流是近年來(lái)自旋電子學(xué)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn),相關(guān)現(xiàn)象被稱(chēng)之為“手性誘導(dǎo)自....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 08-30 17:14 ?2139次閱讀
半導(dǎo)體所等在手性分子產(chǎn)生自旋極化研究的進(jìn)展

什么是自相互作用呢?中微子之間超越標(biāo)準(zhǔn)模型的相互作用,

中微子是一種非常微小的基本粒子,它幾乎不與其他物質(zhì)相互作用,所以它可以穿透整個(gè)地球而不被阻擋。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 08-30 16:02 ?1609次閱讀