VII 漏流和保護II

　　保護亦可用于減小電纜連接中的漏流。圖12所示為驅動保護防止電纜的漏泄電阻影響小電流測量的原理。在無保護的配置中，同軸電纜的漏阻與DUT并聯(lián)（RDUT），產生不希望的漏流（IL）。該漏流將影響極小電流的測量。

　　在保護電路中，三軸電纜的內芯屏蔽被連接至SMU的保護端子。現(xiàn)在，該屏蔽由一個單位增益低阻放大器（保護）驅動。Force HI端子和保護端子之間的電勢差接近0V，所以漏流（IL）可忽略不計。

　　圖12. 利用保護減小電纜連接中的漏流

　　為了查看測量極高電阻時三軸電纜和同軸電纜的結果，圖13中繪出了采用10V階躍函數(shù)測量100GΩ電阻的測量電流和時間的關系圖。三軸電纜通過使用保護，以兩種方式改善了測量：1）它減小了有效電纜電容，從而降低了測量的RC時間常數(shù)或建立時間；2）防止電纜中的漏流對測量準確度造成不利影響。

　　圖13. 使用同軸電纜和三軸電纜測量高阻的結果比較

　　從圖13可知，利用帶有保護的三軸電纜進行測量，漏流較小（低幾個pA），建立時間更短（大約快10倍）。如果SMU必須連接至采用BNC連接器的測試夾具，請在S

　　MU和測試夾具之間使用吉時利三軸電纜，然后再將BNC連接至三軸適配器（去掉了保護），從而將電纜連接至測試夾具。

　　VIII SMU至DUT的連接

　　連接DUT時，除了使用屏蔽和保護電纜，將吉時利4200-SCS的相應端子與裝置的合適端子相連接也非常重要。SMU的Force HI和Force LO端子連接不合適會導致電流偏移和測量不穩(wěn)定。這些誤差是由于共模電流產生的。

　　通常情況下，總是將SMU的高阻端子（Force HI）連接至被測電路的最大電阻點。同樣，總是將4200-SCS的低阻端子（Force LO）連接至被測電路的最小電阻點。最小電阻點可以是公共端子或接地。如果Force HI端子被連接至最小電阻點，共模電流就會通過測量電路。

　　圖14中標出了正確和不正確的測量連接。圖14a中的連接是正確的，因為吉時利4200-SMU的Force HI端子被連接至晶圓上器件的柵極，而Force LO端子被連接至帶有保護的吸盤。晶圓上的柵極端子為最大阻抗點，保護吸盤為低阻抗點，所以該電路的連接正確。請注意，共模電流從SMUde Force LO端子流至保護吸盤；然而，電流并不通過安培計，因此不會影響測量。

　　圖14. 將SMU連接至保護吸盤上的器件

　　圖14b中的連接是不正確的，它將SMU的Force LO端子連接至高阻柵極，將SMU的Force HI端子連接至保護吸盤。在這種情況下，共模電流將通過SMU以及DUT。這會造成測量不準確，甚至不穩(wěn)定。

　　VIIII摩擦效應

　　摩擦電流是由于導體和絕緣體之間摩擦產生的電荷形成的。自由電子由于摩擦離開導體，造成電荷不平衡，由此產生電流。這種噪聲電流可達到數(shù)十nA。圖15所示為摩擦電流的流向。

　　吉時利4200-SCS配備的三軸電纜在外屏蔽的下方采用了浸漬石墨絕緣體，大大降低了這種影響。石墨提供了潤滑和導體柱，均衡了電荷，并將電纜運動的摩擦效應產生的電荷降至最小。然而，即使這種類型的三軸電纜在受到振動和膨脹或收縮時，也會產生噪聲。因此，所有連接應盡量短，避免溫度變化（將產生熱膨脹力），最好將電纜綁到不振動表面，例如墻、桌子或剛性結構。

　　圖15. 摩擦效應產生的偏移電流

　　應采取其他措施將運動和振動問題降至最小：

　　?消除或機械去耦振動源，例如馬達、泵，以及其他機電裝置。

　　?將電子元件、接線和電纜牢固地安裝或綁好。

　　?使前置放大器盡量靠近DUT。

　　壓電效應和電荷存儲效應

　　向絕緣端子和互連硬件中使用的特定晶體材料施加機械應力時，就會產生壓電電流。在有些塑料中，少量的存儲電荷就會導致該材料的行為類似于壓電材料。圖16所示為采用壓電絕緣體的端子的一個例子。

　　圖16. 壓電效應產生的電流

　　為了將這些效應降至最小，請消除絕緣體的機械應力，并使用具有最小壓電和電荷存儲的絕緣材料。

　　十 污染和濕度效應

　　高濕度或離子污染會大大降低測試夾具的絕緣電阻。凝露或吸水性會產生高濕度條件，而離子污染可能是體油、鹽或焊接劑造成的。絕緣電阻降低會對高阻測量產生嚴重影響。此外，濕度或潮濕可能會與出現(xiàn)的污染相組合，形成會產生偏移電流的電化效應。例如，常用的環(huán)氧印制電路板，如果沒有徹底清除蝕刻溶液、焊接劑或其他污染，就會在導體之間產生幾個nA的電流（參見圖17）。

　　圖17. 污染和濕度造成的電流

　　為避免污染和濕度的影響，請選

　　擇防吸水的絕緣體，并將濕度保持在適當水平（理想《50%）。此外，請使測試系統(tǒng)中的全部組件和測試夾具保持清潔，避免污染。

　　接地環(huán)路

　　接地環(huán)路會產生雜散信號，可能是直流偏移或交流信號（通常為工頻或工頻的整數(shù)倍）。接地環(huán)路時由于測試電路中多處接地造成的。當大量儀器插入至不同儀器架上的電源接線板時，就會形成典型的接地環(huán)路。接地點之間的電勢往往存在微小差異，由此就會產生大電流循環(huán)，從而形成意料之外的電壓降。

　　圖18中所示的配置就是一個接地環(huán)路，是因為將4200信號公共端子（Force LO）和DUT LO均連接至地形成的。環(huán)路中的大接地電流通過的是小電阻，無論是導體還是在連接點。該小電阻產生的壓降會影響性能。

　　為避免接地環(huán)路，測試系統(tǒng)應單點接地。如果不能消除DUT的地，那么4200的GNDU COMMON端子和機箱地之間的接地鏈路應斷開，如圖19所示。

　　圖18. 接地環(huán)路

　　圖19. 消除接地環(huán)路

　　如果懷疑存在接地環(huán)路，請將懷疑的儀器從交流電源拔出，并進行敏感的電流測量，確認問題已經解決。為了消除接地環(huán)路，盡量少采用接地，理想情況是不要超過

　　一個。

　　光有些元件，例如二極管和晶體管是卓越的光檢測器。因此，必須在無光環(huán)境下測試這些元件。為了確保測量準確度，檢查測試夾具在門合頁、管道入口及連接或連接面板上是否存在光泄露。

　　十一 噪聲和源阻抗

　　噪聲會嚴重影響敏感電流測量。DUT的源阻抗和源電容都會影響SMU的噪聲性能。

　　DUT的源阻抗會影響SMU的反饋安培計的噪聲性能。當源電阻減小時，安培計的噪聲增益將增大。圖20所示為反饋安培計的簡化模型。

　　在該電路中：

　　RS =源電阻

　　CS =源電容

　　VS =源電壓

　　VNOISE =安培計的噪聲電壓

　　圖20. 反饋安培計的簡化模型

　　RF =反饋電阻

　　CF =反饋電容

　　電路的噪聲增益可由下式給出：

　　請注意，當源電阻（RS）減小時，輸出噪聲增大。由于降低源電阻會對噪聲性能產生不利影響，所以在表1中根據(jù)電流測量量程給出了最小推薦源電阻值。

　　表1. 最小推薦源電阻值

　　5章 （含在系統(tǒng)軟件中）

　　Keithley Instruments，低電平測量手冊，2004年第6DUT的源電容也會影響SMU的噪聲性能。一般情況下，源電容增大時，噪聲增益也隨之增大。盡管最大源電容值存在限值，但是通過連接一個電阻或正偏二極管與DUT串聯(lián)，通常能夠在更高的源電容值下進行測量。二極管作為一個可變電阻，當源電容的充電電流為高時，其阻值很小，然后隨著電流的減小而增大。

　　十二 偏移補償

　　在確定并減小外部誤差后，如果可能的話，可將測試系統(tǒng)的內部和外部偏移從將來的測量結果中減去。首先，如上所述，在輸入戴有金屬帽的情況下對SMU進行自動校準。然后，確定每個SMU至探針的偏移。利用軟件中的公式計算器工具，可將該平均偏移從隨后的電流測量結果中減去。為了進行極低電流的測量，應定期重新測量平均偏移電流（至少每月一次）。

　　結論

　　當配備可選的吉時利4200-PA型遠程前置放大器時，4200-SCS型半導體特性分析系統(tǒng)可準確測量pA級或更小的電流。應通過測量整個測量系統(tǒng)的偏移電流來確定系統(tǒng)的限制，必要時進行調節(jié)?？刹捎靡恍┘夹g減小測量誤差源，例如屏蔽、保護、儀器的正確接地，以及在KITE軟件中選擇合適的設置，包括留有足夠的建立時間。吉時利的低電平測量手冊提供了關于優(yōu)化低電平測量技術的更多信息。