中圖儀器光學(xué)3d表面輪廓儀檢測可以在無外接氣源的條件下可穩(wěn)定工作，在車間也能正常工作。因為其雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，也可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動。
重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號：SuperView W1系列
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
臺階高測量：準確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
可測樣品反射率：0.05%-100%
水平調(diào)整：±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析，測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè)，致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐，專業(yè)覆蓋面廣，專項技術(shù)能力強，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。
【應(yīng)用】
應(yīng)用案例：手機曲面屏玻璃的檢測
各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物，其表面質(zhì)量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒有辦法克服它的高透明度特性。中圖儀器SuperViewW1為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標準解決方案。
生活中智能手機、平板電腦、智能手表等日常的智能產(chǎn)品中常見的玻璃屏，需要對其表面粗糙度和輪廓進行檢測。以手機玻璃屏為例：
中圖儀器以白光干涉測量技術(shù)為基礎(chǔ)而研發(fā)生產(chǎn)出的SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀檢測對產(chǎn)品進行高品質(zhì)監(jiān)控時不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實時數(shù)據(jù)的同時，不會對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。
