當(dāng)協(xié)作機(jī)器人需要執(zhí)行微米級(jí)的精密任務(wù)時(shí)，一個(gè)隱形挑戰(zhàn)浮出水面：如何確保其核心動(dòng)力單元DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)精度達(dá)到角秒級(jí)？答案藏在一束激光的干涉條紋之中。

解決方案：

SJ6000激光干涉儀+角度反射鏡組+WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)，測(cè)量精度：±1″；分辨力：0.01″。

DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量示意圖

測(cè)量流程：

將WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)固定在馬達(dá)軸心，其頂部反設(shè)鏡可相對(duì)基座反向旋轉(zhuǎn)，反射鏡始終與激光束角度鎖定在0.5度內(nèi)，轉(zhuǎn)臺(tái)每旋轉(zhuǎn)5°，反射鏡即反向旋轉(zhuǎn)5°，此時(shí)軟件將WR50的精密圓光柵角度值和SJ6000的角度值進(jìn)行合并計(jì)算，得出馬達(dá)實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的角度。

激光干涉儀測(cè)量結(jié)束后自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償，確保DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)精度符合要求。

補(bǔ)償前數(shù)據(jù)

補(bǔ)償后數(shù)據(jù)

從汽車(chē)工廠的裝配線到無(wú)塵室里的芯片制造，協(xié)作機(jī)器人正以人類(lèi)般的靈巧重塑產(chǎn)業(yè)。而在這背后，是以激光干涉儀為代表的精密測(cè)量?jī)x器的默默守護(hù)，為協(xié)作機(jī)器人的安全高效精準(zhǔn)運(yùn)行保駕護(hù)航。