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論述了微機電系統(tǒng)設(shè)計工具的發(fā)展概況，并針對微機電系統(tǒng)的多樣性對設(shè)計工具的需求提出了一種可支持任意流程的微機電系統(tǒng)設(shè)計工具架構(gòu)。該架構(gòu)以系統(tǒng)級行為建模與仿真、器件級物理建模與仿真和工藝級版圖設(shè)計與工藝仿真三個設(shè)計層級為主干，但特別地提出以六個數(shù)據(jù)自動傳遞接口來連接任意兩個設(shè)計層級。這樣，三個設(shè)計層級通過六個數(shù)據(jù)自動傳遞接口構(gòu)成一個設(shè)計閉環(huán)，使得用戶可以從任意一個設(shè)計層級開始設(shè)計，并完成設(shè)計循環(huán)，提供了在設(shè)計流程上的最大柔性。以網(wǎng)表、標(biāo)準(zhǔn)格式的實體模型和版圖文件分別作為這三個層級設(shè)計數(shù)據(jù)的出入口，并設(shè)計了相應(yīng)的信息提取算法及程序，實現(xiàn)了任意兩個級別之間的數(shù)據(jù)自動傳遞，從而可以支持在該架構(gòu)下的全部六種設(shè)計流程。所進行的設(shè)計實例表明，基于該工具可以針對不同的微機電系統(tǒng)器件選擇最優(yōu)的設(shè)計路線，是對當(dāng)前通用微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)化設(shè)計方法的發(fā)展和提高，可顯著提高設(shè)計效率。
微機電系統(tǒng)
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