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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>微傳感器與微執(zhí)行器全書5-11章

      微傳感器與微執(zhí)行器全書5-11章

      2016-04-26 | pdf | 9347KB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      本書是一部關(guān)于微機(jī)械系統(tǒng)方面的重要論著和首選技術(shù)參考書，全書共分九章，幾乎涉及MEMS技術(shù)的所有研究領(lǐng)域，暢述了各個(gè)領(lǐng)域中MEMS相關(guān)的基本原理，并在此基礎(chǔ)上，對(duì)典型器件和系，統(tǒng)的設(shè)計(jì)與工藝進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。
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