技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于微機(jī)械傳感器領(lǐng)域，涉及一種MEMS陀螺零點(diǎn)校準(zhǔn)方法，尤其涉及一種消除MEMS陀螺零漂、溫漂、隨機(jī)游走的方法。

　　背景技術(shù)MEMS陀螺儀的結(jié)構(gòu)大幅減小，單封裝數(shù)字和模擬接口占板面積極小，只有幾平方毫米。MEMS陀螺和傳統(tǒng)的陀螺相比最大的優(yōu)勢(shì)就是體積小，并且價(jià)格優(yōu)勢(shì)明顯，這些優(yōu)勢(shì)促使MEMS陀螺滲透到手持式設(shè)備市場(chǎng)。MEMS陀螺讓便攜式設(shè)備加入許多令人驚喜的功能，例如提高相機(jī)拍攝性能的穩(wěn)像功能，易用的用戶界面以及游戲娛樂(lè)功能等。同時(shí)，MEMS陀螺還將用于需要高靈敏度、低噪聲、低漂移（因長(zhǎng)時(shí)間使用而發(fā)生的測(cè)量偏差或受到環(huán)境溫度影響產(chǎn)生的偏差）的航位推測(cè)和GPS輔助導(dǎo)航。MEMS陀螺與其他類型陀螺相比具有許多優(yōu)勢(shì)，但其自身也有一些缺點(diǎn)，給其應(yīng)用帶來(lái)了一些限制。由于MEMS陀螺特殊的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其工作主要受諧振頻率的影響，而陀螺儀材料的彈性模量以及陀螺的外圍電路的性能都會(huì)隨溫度變化而變化。MEMS陀螺最大的缺點(diǎn)就是陀螺本身的隨機(jī)游走，以及容易受到溫度等外界環(huán)境因數(shù)的影響。在保證測(cè)量精度的條件下，如何克服陀螺的隨機(jī)游走和零點(diǎn)漂移就變得至關(guān)重要。現(xiàn)在普遍的做法是通過(guò)實(shí)驗(yàn)的方法找到陀螺的輸出值和角速度以及誤差之間的準(zhǔn)確關(guān)系，然后再利用此關(guān)系去修正陀螺的輸入角速度。例如一種微機(jī)械陀螺儀誤差的高精度補(bǔ)償方法（理論與方法，2012，31 （8）：18-20.）中利用Allan方差辨識(shí)陀螺儀的噪聲系數(shù)，根據(jù)微陀螺儀的誤差模型設(shè)計(jì)了卡爾曼濾波器進(jìn)行動(dòng)態(tài)仿真。此方法需用涉及到矩陣的計(jì)算，不利于單片機(jī)等微處理器處理，而且陀螺的輸出值還伴有零均值高斯白噪聲。同時(shí)此類方法求導(dǎo)出的關(guān)系式是精確的，需要確定每個(gè)參數(shù)的值，外部環(huán)境隨時(shí)都會(huì)變化，任意一個(gè)參數(shù)的變化都會(huì)對(duì)陀螺的輸出值產(chǎn)生影響，實(shí)時(shí)適應(yīng)性比較差。