微系統(tǒng)是集微型機構(gòu)、微型傳感器，微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路甚至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。微系統(tǒng)具有成本低、體積小、可靠性高、能實現(xiàn)復(fù)雜功能、可批量制作、可集成等特點，有廣闊的應(yīng)重量輕。經(jīng)過十多年的發(fā)展，在設(shè)計基礎(chǔ)、制造技術(shù)與應(yīng)用系統(tǒng)的研究上有許多用前景。成果，正在形成一個新的產(chǎn)業(yè)。微系統(tǒng)的習(xí)慣術(shù)語有：M E MS（ M icro Electro-微機電系統(tǒng)） 或MOEMS （微光機電系統(tǒng)，美國），Micro-Mechanical System，M achine （微機械，日本），MicroSystems （微系統(tǒng)，歐洲）。

　　微系統(tǒng)為信息化的數(shù)字世界與現(xiàn)實自然（模擬） 世界提供接口，正在機電、信息和生化領(lǐng)域內(nèi)形成一批特征尺度為微米級的產(chǎn)品（器件、系統(tǒng)和工具，包括微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及與IC集成的微系統(tǒng)），為科技發(fā)展提供新的技術(shù)平臺和方法學(xué); 微系統(tǒng)正引起微制造第二。次新的發(fā)展，可用類似集成電路的方法制造復(fù)雜的、高寬深比的三維微結(jié)構(gòu)，并和集成電路集成，成為集成微系統(tǒng);微系統(tǒng)是多學(xué)科的領(lǐng)域，有Physical MEMS.Optical MEMS.Chem ical M E M S.RF MEMS和Power MEMS等; 微系統(tǒng)還將與納米技術(shù)結(jié)合，成為Bio-M EMS.納米~微系統(tǒng)或納系統(tǒng)。