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針對(duì)寬溫度范圍應(yīng)變測(cè)量的溫度干擾問(wèn)題，提出并研究了基于雙諧振器的聲表面波應(yīng)變傳感器。理論上，結(jié)合微擾理論、有限元方法、有效介電常數(shù)法分析出雙諧振器頻率與應(yīng)變、溫度的關(guān)系公式，進(jìn)而推導(dǎo)出應(yīng)變與溫度關(guān)于這兩組諧振器頻率變化的表達(dá)式。實(shí)驗(yàn)上，搭建寬溫度范圍的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，在Y+340切向的石英基片上制作該傳感器芯片，測(cè)得傳感器芯片在30℃～180℃下的頻率響應(yīng)，將測(cè)得的諧振器頻率代入表達(dá)式計(jì)算得到溫度與應(yīng)變值，與實(shí)驗(yàn)中參考溫度與應(yīng)變的值基本吻合。
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