資料介紹
為了實(shí)現(xiàn)對(duì)多層薄膜結(jié)構(gòu)厚度進(jìn)行快速準(zhǔn)確的測(cè)量和無(wú)損定量評(píng)價(jià),研制了二維光學(xué)相干層析( Optical Coherence Tomo-graphy,OCT)系統(tǒng),避免了傳統(tǒng)一維OCT系統(tǒng)逐點(diǎn)掃描導(dǎo)致成像效率低下的問(wèn)題。闡述了去除OCT共軛鏡像理論,采用了五步相移干涉法,具體由壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)參考鏡實(shí)現(xiàn),做到了對(duì)OCT共軛鏡像的去除,避免出現(xiàn)OCT圖像的混疊。所研制的OCT系統(tǒng)具有極高的系統(tǒng)分辨率和較好的信噪比,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)手機(jī)鋼化玻璃薄膜內(nèi)部四層結(jié)構(gòu)厚度(鋼化玻璃、靜電膠層l、防爆貼膜和靜電膠層2)進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:白研制的系統(tǒng)可快速高精度地對(duì)多層薄膜結(jié)構(gòu)厚度進(jìn)行測(cè)量,可以推薦使用在多層薄膜的無(wú)損定量評(píng)價(jià)中。

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