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介紹了用于加工太赫茲波元件的微機(jī)械加工技術(shù)(銑削、放電加工、電鑄、濕法腐蝕Si 、干法腐蝕Si 、厚光刻膠: SU - 8 和L IGA) 及其最新結(jié)果。重點(diǎn)描述了應(yīng)用于太赫茲波的器件和集成電路, 如將可用于太赫茲波的各種新穎二極管、半導(dǎo)體納米器件、新的高電子遷移率晶體管、毫米波集成電路、量子器件、紅外器件、量子級聯(lián)激光器(單極級間躍遷激光器) ?；趲чg躍遷量子機(jī)理的半導(dǎo)體器件(譬如量子級聯(lián)激光器) 的頻率極限高于與半導(dǎo)體能帶隙相關(guān)器件的頻率, 其大多數(shù)體半導(dǎo)體的頻率可以達(dá)到10 THz 以上。但是, 基于經(jīng)典的電子擴(kuò)散傳輸機(jī)理的二極管、三極管的高頻極限則受限于渡越時(shí)間和寄生參數(shù)RC 時(shí)間常數(shù)。
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