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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>顯示及光電>非接觸光柵測量系統(tǒng)

      非接觸光柵測量系統(tǒng)

      2010-08-28 | rar | 2500 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      RELM高精度直線光柵重新定義了
      光柵的性能，具有高速、可靠、非接觸
      的性能，它還具有IN-TRAC?內(nèi)置刻劃
      光學零位等先進功能。
      系統(tǒng)由S R 讀數(shù)頭、S i 細分盒和
      RELM 20 μm柵距的因鋼柵尺組成。
      RELM極為堅固，其優(yōu)異的性能可
      與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲
      美。
      RELM精度達±1 μm， 膨脹系數(shù)
      ~~ 0.6 μm/m/°C（0 °C至30 °C），分辨率
      達5 nm，能夠滿足苛刻的精密運動的需
      求
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