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電子發(fā)燒友網>電子資料下載>顯示及光電>LED芯片的制造步驟和制造工藝及相關的濕法設備介紹

LED芯片的制造步驟和制造工藝及相關的濕法設備介紹

2017-09-28 | rar | 0.2 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  LED芯片的制造過程可概分為晶圓處理工序(Wafer Fabrication)、晶圓針測工序(Wafer Probe)、構裝工序(Packaging)、測試工序(Initial Test andFinal Test)等幾個步驟。其中晶圓處理工序和晶圓針測工序為前段(Front End)工序,而構裝工序、測試工序為后段(Back End)工序。

 ?。?) 晶圓處理工序

  本工序的主要工作是在晶圓上制作電路及電子元件(如晶體管、電容、邏輯開關等),其處理程序通常與產品種類和所使用的技術有關,但一般基本步驟是先將晶圓適當清洗,再在其表面進行氧化及化學氣相沉積,然后進行涂膜、曝光、顯影、蝕刻、離子植入、金屬濺鍍等反復步驟,最終在晶圓上完成數層電路及元件加工與制作。

 ?。?)晶圓針測工序

  經過上道工序后,晶圓上就形成了一個個的小格,即晶粒,一般情況下,為便于測試,提高效率,同一片晶圓上制作同一品種、規(guī)格的產品;但也可根據需要制作幾種不同品種、規(guī)格的產品。

  在用針測(Probe)儀對每個晶粒檢測其電氣特性,并將不合格的晶粒標上記號后,將晶圓切開,分割成一顆顆單獨的晶粒,再按其電氣特性分類,裝入不同的托盤中,不合格的晶粒則舍棄。

  廠。而未通過測試的芯片則視其達到的參數情況定作降級品或廢品。

  2 、LED芯片的制造工藝

  LED 芯片的制造工藝流程為:

  外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。

  LED芯片的制造工藝如下圖:
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led
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