資料介紹
利用暗場(chǎng)成像原理,研制成功一套應(yīng)用于大型激光裝置的光學(xué)元件損傷在線檢測(cè)裝置,并在多程放大系統(tǒng)上進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。與傳統(tǒng)的檢測(cè)手段相比,該檢測(cè)裝置可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的在線檢測(cè),并可對(duì)損傷點(diǎn)的圖像進(jìn)行分析處理,最后提出通過(guò)減小像差和擴(kuò)大檢測(cè)范圍的方法來(lái)改進(jìn)該裝置的檢測(cè)效果.
在大型激光裝置中,光束因非線性效應(yīng)而產(chǎn)生自聚焦現(xiàn)象。自聚焦將導(dǎo)致光束最終形成高強(qiáng)度的細(xì)絲,從而對(duì)裝置中的光學(xué)元件造成損傷,如光學(xué)元件表面膜層被破壞、內(nèi)部形成絲狀裂紋等[1~3 ] 。這些損傷會(huì)產(chǎn)生極大的危害,其主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面: (1) 光束質(zhì)量下降; (2) 在損傷點(diǎn)產(chǎn)生的熱效應(yīng)會(huì)造成光學(xué)元件的爆炸;
?。?) 由于光束在損傷點(diǎn)的衍射造成其它光學(xué)元件的損傷等 。以前對(duì)于光學(xué)元件損傷的檢測(cè),主要利用非激光光源照明并靠人眼來(lái)觀測(cè),其缺點(diǎn)是費(fèi)時(shí)費(fèi)力,檢測(cè)效率低,且有很大的不確定性。利用光學(xué)元件損傷在線檢測(cè)裝置,可以對(duì)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行在線檢測(cè),并可對(duì)損傷點(diǎn)的圖像進(jìn)行存儲(chǔ)分析。
通常,光學(xué)元件損傷在線檢測(cè)裝置采用暗場(chǎng)成像技術(shù),以提高系統(tǒng)的分辨率與圖像的對(duì)比度。所謂暗場(chǎng)成像,就是用主動(dòng)式光源照明被檢的光學(xué)元件,如光學(xué)元件存在損傷,則損傷點(diǎn)會(huì)產(chǎn)生散射光,利用成像光學(xué)系統(tǒng)接收損傷點(diǎn)產(chǎn)生的后向散射光,則可在暗背景下觀察到明亮的損傷圖像。如被檢測(cè)光學(xué)元件無(wú)損傷,則視場(chǎng)總是暗場(chǎng)。為了提高光束傳輸效率,照明光源的波長(zhǎng)一般與被檢光路的工作波長(zhǎng)接近或相同。
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