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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子教材>硅基AlN薄膜制備技術(shù)與測(cè)試分析

      硅基AlN薄膜制備技術(shù)與測(cè)試分析

      2011-06-24 | pdf | 121 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

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      采用直流磁控反應(yīng)濺射法,在Si(100),Al/Si(100)和Pt/Ti/Si(100)等多種襯底上制備了用于MEMS器件的AlN薄膜.用XRD和AES對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)和組分進(jìn)行了分析,通過(guò)優(yōu)化工藝參數(shù),得到了提高薄膜擇優(yōu)取向的方法,并分析了不同襯底上AlN晶粒生長(zhǎng)的有關(guān)機(jī)理.制備的AlN薄膜顯示出良好的<002>擇優(yōu)取向性,搖擺曲線的半高寬達(dá)到5.6l.
      薄膜 硅基 AlN
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