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本書(shū)主要討論硅基器件(分立與集成)的可靠性。全書(shū)共分9章，內(nèi)容包括概述、可靠性的數(shù)學(xué)基礎(chǔ)、失效物理、失效分析、可靠性設(shè)計(jì)、工藝可靠性、使用可靠性、可靠性試驗(yàn)、可靠性管理等。部分章末給出了復(fù)習(xí)思考題，以便于教學(xué)。
本書(shū)為高等學(xué)校電子信息類(lèi)微電子技術(shù)專(zhuān)業(yè)碩士研究生教材，也可作為相應(yīng)專(zhuān)業(yè)高年級(jí)學(xué)生及從事微電子器件可靠性工作的工程技術(shù)人員的閱讀參考書(shū)。
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