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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>IC datasheet pdf>HVM中用于光刻的EUV源:歷史和前景

      HVM中用于光刻的EUV源:歷史和前景

      2022-06-13 | pdf | 5.52 MB | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      HVM中的EUV光刻
      ?
      ?背景和歷史
      ?
      ?使用NXE的EUV光刻：3400B
      ?
      ?EUV生成原理
      ?
      ?EUV來(lái)源：架構(gòu)
      ?
      ?現(xiàn)場(chǎng)EUV源
      ?
      ?電源展望
      ?
      ?總結(jié)
      光刻機(jī) EUV
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