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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>模擬數(shù)字>雙膜橋微波MEMS開關

      雙膜橋微波MEMS開關

      2010-02-05 | rar | 455 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      介紹了一種雙膜橋微波MEMS 開關,給出了開關的設計與優(yōu)化方法,建立了開關的仿真模
      型,使用硅表面微機械工藝制造了雙膜橋開關樣品,其主要結(jié)構為硅襯底上制作CPW 金屬傳輸線電極和介質(zhì)層,然后制作具有微電感結(jié)構的金屬膜橋,提高了開關隔離度。利用HFSS 軟件仿真的結(jié)果表明,該開關在微波低頻段(3～6GHz) 有著很好的隔離性能。研制的開關樣品在片測試的電性能指標為:插損小于0. 3dB ,隔離度大于40dB ,驅(qū)動電壓小于24V。
      關鍵詞: 微機電系統(tǒng); 射頻開關; 高隔離度
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