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電子發(fā)燒友網>電子資料下載>模擬數(shù)字>CMOS集成電路片上靜電放電防護器件的設計

CMOS集成電路片上靜電放電防護器件的設計

2011-12-16 | pdf | 2.01 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

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靜電放電(ESD)在集成電路產業(yè)中造成的電路失效占有相當大的比重。隨著電路的集成度增加、柵氧厚度減薄、多電源、混合信號模塊在復雜電路中的運用、更大的芯片寄生電容和更高的工作頻率,這些都會導致先進器件和電路對ESD 更加敏感。因此只有弄清楚各種工藝下ESD 現(xiàn)象的機理,ESD 防護問題才能得到更好的解決。所以集成電路ESD 防護的研究具有重要意義。
本研究旨在提高CMOS 工藝下片上ESD 防護能力。針對多種深亞微米工藝,設計了ESD 防護器件結構,測試分析了各種結構的ESD 防護能力
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