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功率VDMOS 器件的工作條件通常惡劣，因此其可靠性研究格外重要。本文總結了目前眾多VDMOS 器件可靠性研究的結果，著重討論了功率VDMOS 在高溫大電壓的工作環(huán)境下，關鍵電學參數(shù)的漂移及其失效機理，擊穿特性的異常和改善辦法，同時對鍵合及金屬化過程中引發(fā)的失效也做了簡單論述。
VDMOS
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