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      集成電路制造基本工藝

      2018-04-17 | rar | 4.14 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　也稱沉積。就是在晶體表面生長膜物質(zhì)的方法。包括 和液相生長的方法，氣相生長又分為化學氣相淀積（ CVD：chemicalvapour deposition）和物理氣相淀積（PVD：physical vapomdepositio），液相生長的典型方法是液相外延和電鍍（銅布線）。

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