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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>IC資料>IC中文資料>12吋晶圓集成電路芯片制程工藝與工序前端FEOL第二部分免費(fèi)下載

      12吋晶圓集成電路芯片制程工藝與工序前端FEOL第二部分免費(fèi)下載

      2019-04-10 | docx | 3.15 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　上接《淺談12吋晶圓集成電路芯片制程（工藝與工序）前端FEOL第一部分》

      　　4 ）淺源漏（汲）極前端延伸區(qū)（LDD）。

      　　4.1 柵極寬度不斷縮小，溝道長(zhǎng)度不斷減小，增加了漏源間電荷穿通的幾率。溝道中電場(chǎng)強(qiáng)度增大，電子（空穴）在強(qiáng)電場(chǎng)中獲得高能量注入并陷落到柵氧化層介質(zhì)中，引發(fā)出器件可靠性問(wèn)題。采用LDD結(jié)構(gòu)性能得到改進(jìn)。見(jiàn)圖14.及附注。 LDD結(jié)構(gòu)也減少了短溝道效應(yīng)。

      第一部分鏈接：http://www.brongaenegriffin.com/soft/78/223/2019/20190405901648.html

      后端鏈接：http://www.brongaenegriffin.com/soft/78/223/2019/20190405901650.html

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