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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>嵌入式開發(fā)>具有RESURF的LDMOS器件設(shè)計

      具有RESURF的LDMOS器件設(shè)計

      2017-11-08 | rar | 1.11 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　LDMOS器件設(shè)計中，常采用RESURF技術(shù)來提高器件的性能。文中主要研究具有RESURF技術(shù)結(jié)構(gòu)的LD-MOS器件，圍繞當(dāng)獲得最優(yōu)的器件結(jié)構(gòu)時，其外延層單位面積雜質(zhì)密度Ntot不是定值這一現(xiàn)象展開研究，給出了一種關(guān)于外延層單位面積雜質(zhì)密度Ntot的近似解析表達式、，經(jīng)過大量的模擬仿真及數(shù)據(jù)分析，發(fā)現(xiàn)在最優(yōu)器件結(jié)構(gòu)中均勻摻雜的外延層單位面積雜質(zhì)密度Ntot與襯底摻雜濃度存在有規(guī)律的函數(shù)關(guān)系。最終，通過綜合分析影響器件的關(guān)鍵因素，得到了最優(yōu)器件的外延層單位面積雜質(zhì)密度Ntot與襯底摻雜濃度的關(guān)系函數(shù)。

      具有RESURF的LDMOS器件設(shè)計

      LDMOS RESURF
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