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摘 要：?? 基于微機械工藝制作的加速度計，許多都是采用差動結(jié)構(gòu)電容的變化來反映被測量的方向和大小。針對該需?求研制了檢測微小電容變化的電路。它檢測電容變化的頻率范圍為D C~3 0?k Hz ，對寄生電阻、電容本質(zhì)不敏感，既可以?檢測單邊電容變化，也可以檢測差動電容變化，而且很容易由分離電路元件實現(xiàn)。該電路輸出噪聲極低 ，標稱電容為1 0p F時，電容檢測分辨率可達3?a F/ ~ /Hz ，和量程為1g的電容加速度計連接 ，輸 出靈敏度為4 .5??V／g，加速度檢測分辨率可達7×1 0? g／~ ／Hz 。?
關(guān)鍵詞：?? 電容加速度計；?? 差分測量；?? 差分電容一 電壓變換器
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