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提出了一種新型高靈敏度橫向電容式硅微加速度計(jì)．根據(jù)差分電容極板間正對(duì)面積的改變來(lái)檢測(cè)加速度
走小，保證輸出電壓與加速度之間的線性度系統(tǒng)剛度可由靜電力調(diào)節(jié)為了提高電學(xué)靈敏度，在檢測(cè)電容極板上
設(shè)計(jì)高K介質(zhì)層，增大了檢測(cè)電容量，減小了雜散電容的影響使用CoventorWare對(duì)本設(shè)計(jì)進(jìn)行機(jī)械分析、力電耦
合分析和模態(tài)分析，仿真結(jié)果與理論計(jì)算相吻合加速度計(jì)使用簡(jiǎn)單的表面犧牲層工藝即可完成，具有很好的發(fā)展
前案．
走小，保證輸出電壓與加速度之間的線性度系統(tǒng)剛度可由靜電力調(diào)節(jié)為了提高電學(xué)靈敏度，在檢測(cè)電容極板上
設(shè)計(jì)高K介質(zhì)層，增大了檢測(cè)電容量，減小了雜散電容的影響使用CoventorWare對(duì)本設(shè)計(jì)進(jìn)行機(jī)械分析、力電耦
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