資料介紹
一、術(shù)語(yǔ)及定義
1、靜電:物體表面過(guò)?;虿蛔愕撵o止的電荷.
2、靜電場(chǎng):靜電在其周圍形成的電場(chǎng).
3、靜電放電:兩個(gè)具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或靜電場(chǎng)感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移.靜電電場(chǎng)的能量達(dá)到一定程度后,擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象就是靜電放電.
4、靜電敏感度:元器件所能承受的靜電放電電壓.
5、靜電敏感器件:對(duì)靜電放電敏感的器件.
6、接地:電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體,如大地、船等.
7、中和:利用異性電荷使靜電消失.
8、防靜電工作區(qū):配備各種防靜電設(shè)備和器材,能限制靜電電位,具有明確的區(qū)域界限和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場(chǎng)地.
二、靜電的產(chǎn)生
1、摩擦:在日常生活中,任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離,即可產(chǎn)生靜電,而產(chǎn)生靜電的最普通方法,就是摩擦生電.材料的絕緣性越好,越容易摩擦生電.另外,任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離,也能產(chǎn)生靜電.
2、感應(yīng):針對(duì)導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動(dòng),如將其置于一電場(chǎng)中,由于同性相斥,異性相吸,正負(fù)離子就會(huì)轉(zhuǎn)移.
3、傳導(dǎo):針對(duì)導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動(dòng),如與帶電物體接觸,將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移.
三、靜電對(duì)電子工業(yè)的影響集成電路元器件的線路縮小,線路面積減小,耐壓降低,使得器件耐靜電沖擊能力的減弱,靜電電場(chǎng)(Static Electric Field)和靜電電流(ESDcurrent)成為這些高密度元器件的致命殺手.同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用,導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會(huì)大增.日常生活中如走動(dòng)、空氣流動(dòng)、搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電.人們一般認(rèn)為只有CMOS類的晶片才對(duì)靜電敏感,實(shí)際上,集成度高的元器件電路都很敏感.
A、靜電對(duì)電子元件的影響:
1) 靜電吸附灰塵,改變線路間的阻抗,影響產(chǎn)品的功能與壽命.
2) 因電場(chǎng)或電流破壞元件的絕緣或?qū)w,使元件不能工作(完全破壞)。
3)因瞬間的電場(chǎng)或電流產(chǎn)生的熱,使元件受傷,雖能工作,但壽命受損.
B、靜電損傷的特點(diǎn):
1、隱蔽性——人體不能直接感知靜電,除非發(fā)生靜電放電;但發(fā)生靜電放電,人體也不一定能有電擊的感覺(jué),這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2-3KV. 2、潛伏性——有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒(méi)有明顯的下降,但多次累加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患,而且增加了器件對(duì)靜電的敏感性,已產(chǎn)生的問(wèn)題并無(wú)任何方法可治愈.
3、隨機(jī)性——電子元件什么情況下會(huì)遭受到靜電破壞呢?可以這么說(shuō),從一個(gè)元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過(guò)程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性.由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的,極難預(yù)測(cè)和防護(hù).
4、復(fù)雜性——靜電放電損傷元件工作,因電子產(chǎn)品的精細(xì),微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢,要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器,即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別,使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效,這是對(duì)靜電放電損害未充分認(rèn)識(shí)之前,常常歸咎于早期失效或情況不明的失效,從而不自覺(jué)的掩蓋了失效的真正原因.
5、嚴(yán)重性——ESD問(wèn)題表面上看來(lái)只影響了制成品的用家,但實(shí)際上亦影響了各層次的制造商,如:保用費(fèi)、維修及公司的聲譽(yù)等等.
6、靜電在工業(yè)生產(chǎn)中造成的危害 靜電的產(chǎn)生在工業(yè)生產(chǎn)中是不可避免的,其造成的危害主要可歸結(jié)為以下兩種機(jī)理:
其一:靜電放電(ESD)造成的危害:
?。?)引起電子設(shè)備的故障或誤動(dòng)作,造成電磁干擾.
?。?)擊穿集成電路和精密的電子元件,或者促使元件老化,降低生產(chǎn)成品率.
?。?)高壓靜電放電造成電擊,危及人身安全.
?。?)在多易燃易爆品或粉塵、油霧的生產(chǎn)場(chǎng)所極易引起爆炸和火災(zāi).其二:靜電引力(ESA)造成的危害:
(1)電子工業(yè):吸附灰塵,造成集成電路和半導(dǎo)體元件的污染,大大降低成品率.
?。?)膠片和塑料工業(yè):使膠片或薄膜收卷不齊;膠片、CD塑盤沾染灰塵,影響品質(zhì).
(3)造紙印刷工業(yè):紙張收卷不齊,套印不準(zhǔn),吸污嚴(yán)重,甚至紙張黏結(jié),影響生產(chǎn).
?。?)紡織工業(yè):造成根絲飄動(dòng)、纏花斷頭、紗線糾結(jié)等危害.靜電的危害有目共睹,現(xiàn)在越來(lái)越多的廠家已經(jīng)開(kāi)始實(shí)施各種程度的防靜電措施和工程.但是,要認(rèn)識(shí)到,完善有效的防靜電工程要依照不同企業(yè)和不同作業(yè)對(duì)象的實(shí)際情況,制定相應(yīng)的對(duì)策.防靜電措施應(yīng)是系統(tǒng)的、全面的,否則,可能會(huì)事倍功半,甚至造成破壞性的反作用.
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