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本文的類似版本于 2014 年 3 月出現(xiàn)在本文的類似版本于 2014 年 3 月出現(xiàn)在中。中。介紹介紹微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 將機(jī)械和電氣組件組合成微米級(jí)的小型結(jié)構(gòu)。它們由半導(dǎo)體和微細(xì)加工技術(shù)結(jié)合而成，使用微機(jī)械加工將所有電子元件、傳感器和機(jī)械元件集成到一個(gè)共同的硅基板上。任何 MEMS 系統(tǒng)中的主要組件都是機(jī)械元件、傳感機(jī)制和 ASIC 或微控制器。本文概述了 MEMS 加速度計(jì)傳感器和陀螺儀。我們討論了它們的工作原理、它們的傳感機(jī)制、它們?nèi)找娑鄻踊膽?yīng)用，以及它們已經(jīng)對(duì)我們的日常生活產(chǎn)生的深遠(yuǎn)影響。微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 將機(jī)械和電氣組件組合成微米級(jí)的小型結(jié)構(gòu)。
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