資料介紹
微光學(xué)器件是指尺寸在微米到毫米級(jí)別的光學(xué)元件,其尺寸比傳統(tǒng)光學(xué)器件小很多。微光學(xué)器件利用了微納加工技術(shù),將光學(xué)器件的功能集成到微米尺寸的芯片中,具有小型化、集成化、高效率、低成本等特點(diǎn)。微光學(xué)器件同時(shí)具備納米尺度的輪廓起伏變化和超光滑且透明的特點(diǎn),該特點(diǎn)導(dǎo)致的測(cè)量需求,3d光學(xué)輪廓儀(白光干涉儀)能滿足。

3d光學(xué)輪廓儀通過(guò)利用白光的干涉和衍射現(xiàn)象,能夠?qū)ξ⑿〉谋砻娓叨炔町愡M(jìn)行精確測(cè)量,并得出精準(zhǔn)的尺寸和形態(tài)數(shù)據(jù)。對(duì)于超光滑透明微光學(xué)器件的測(cè)量來(lái)說(shuō),3d光學(xué)輪廓儀不僅具備高精度和高分辨率的特點(diǎn),還能夠快速、無(wú)損地獲得物體的三維形貌信息。
3d光學(xué)輪廓儀:超光滑透明微光學(xué)器件測(cè)量的利器

3d光學(xué)輪廓儀用于測(cè)量微光學(xué)器件應(yīng)用案例
為獲得更好的光學(xué)處理效果,需對(duì)玻璃或樹(shù)脂等光學(xué)材料結(jié)構(gòu)進(jìn)行微納工藝加工,如時(shí)下流行的投影儀中勻光用的激光擴(kuò)散片,還有各類(lèi)組成特殊圖案的衍射元件,工業(yè)用光柵、特殊目的的光學(xué)器件。

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