高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，結(jié)構(gòu)形式基本上都是固定橋形式，固定橋精度高，但是占地面積都比較大。Mizar Gold相對(duì)于固定橋，占地面積小，總重量輕，運(yùn)輸安裝方便。

Mizar Gold如何實(shí)現(xiàn)高精度

相信大家在用三坐標(biāo)測(cè)量探測(cè)誤差（MPEP）的時(shí)候，都會(huì)發(fā)現(xiàn)一個(gè)現(xiàn)象，垂直度補(bǔ)償值越多（垂直結(jié)構(gòu)沒(méi)調(diào)到位，通過(guò)軟件補(bǔ)償垂直度），探測(cè)誤差越差？

三坐標(biāo)的誤差補(bǔ)償，主要就是通過(guò)軟件對(duì)結(jié)構(gòu)的21項(xiàng)系統(tǒng)誤差進(jìn)行補(bǔ)償。由于三坐標(biāo)機(jī)器是X/Y/Z三個(gè)平移運(yùn)動(dòng)軸，像直線度這種誤差比較容易通過(guò)主機(jī)移動(dòng)來(lái)補(bǔ)償，角度誤差，會(huì)通過(guò)算法轉(zhuǎn)化成平動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償。但是，結(jié)構(gòu)上角度是始終存在的，沒(méi)辦法消除，就會(huì)因?yàn)榻嵌葞?lái)殘余誤差。

三坐標(biāo)采用陶瓷橫梁和Z軸，確保了橫梁和Z軸的平面精度在2μm以?xún)?nèi)，給整機(jī)的角度誤差控制在2角秒以?xún)?nèi)。同時(shí)，陶瓷的剛性遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于花崗巖和鋁合金，這樣橫梁在受到滑架壓力的時(shí)候，也基本沒(méi)有變形量。因此，通過(guò)減小系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)誤差，減小補(bǔ)償量，從而提高系統(tǒng)的精度。

Mizar Gold如何實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性的提升

采用花崗巖或者鋁合金，長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性很難保證，采用陶瓷，能使導(dǎo)軌保持長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定。

如下圖所示，同一臺(tái)機(jī)器，不同的橫梁材料，長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)橫梁XRY的角擺，陶瓷橫梁的角擺穩(wěn)定在0.5角秒以?xún)?nèi)波動(dòng)，而鋁合金，XRY角擺的波動(dòng)量在2角秒。

其次，通過(guò)將減速器的傳動(dòng)，設(shè)計(jì)為多楔帶，能夠減少減速器傳動(dòng)過(guò)程中的振動(dòng)和刮邊，從而減少機(jī)器測(cè)量過(guò)程中的齒形嚙合帶來(lái)的不確定性，提高穩(wěn)定性。

除此之外，三軸采用非金屬材料，熱膨脹系數(shù)低且基本相同，實(shí)現(xiàn)三軸熱匹配。

而且，Mizar Gold三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)配備溫度傳感器，能對(duì)溫度變化進(jìn)行補(bǔ)償。從而提高設(shè)備的精度和穩(wěn)定性。