三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)結(jié)構(gòu)材料對(duì)測(cè)量精度、性能有很大影響，隨著各種新型材料的研究、開(kāi)發(fā)和應(yīng)用，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)結(jié)構(gòu)材料種類(lèi)越來(lái)越多。目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)主流結(jié)構(gòu)材料為花崗巖、鋁合金，工業(yè)陶瓷基本只出現(xiàn)在高端三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中。

花崗巖（俗稱(chēng)大理石）密度比鋼輕,比鋁重,是目前應(yīng)用較為普遍的一種材料。由于花崗巖在地下經(jīng)過(guò)億萬(wàn)年的時(shí)效，應(yīng)力釋放充分，加工后的穩(wěn)定性好、不生銹,易于作平面加工,達(dá)到比鑄鐵更高的平面度,適合制作高精度的平臺(tái)與導(dǎo)軌，目前多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)用這種材料。

目前超高精度三坐標(biāo)主要采用固定橋式，固定橋三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)采用固定“封閉框架”和移動(dòng)工作臺(tái)的設(shè)計(jì)，工作臺(tái)、X軸橫梁和Z軸一般也是用優(yōu)質(zhì)花崗巖，各軸具有相同的熱力學(xué)性能，能有效消除溫度變化對(duì)結(jié)構(gòu)的影響，保證儀器長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的高精度和穩(wěn)定性。

工業(yè)陶瓷是近年來(lái)發(fā)展很快的材料類(lèi)型，它是將陶瓷材料壓制成形后燒結(jié)、研磨得到。三坐標(biāo)X軸橫梁和Z軸采用陶瓷結(jié)構(gòu)，可以充分發(fā)揮工業(yè)陶瓷重量輕、剛性與抗熱膨脹性?xún)?yōu)異、容易加工成超高精度表面的特性，在各種工業(yè)制造環(huán)境中都能夠獲取精確可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。

由于主軸和橫梁采用工業(yè)陶瓷，工作臺(tái)采用花崗巖，三軸熱匹配性合理，更有利于在20℃±2℃溫度范圍內(nèi)保證精度。

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的移動(dòng)部件重量、移動(dòng)速度和精度相互影響。測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)部分X軸橫梁和Z軸，目前多采用花崗巖、航空鋁合金、工業(yè)陶瓷，分別應(yīng)用于不同應(yīng)用場(chǎng)景。超高精密三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，多使用優(yōu)質(zhì)花崗巖和陶瓷材料。