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      熱退火對金屬半導(dǎo)體的影響

      2022-06-28 | pdf | 0.38 MB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      在鎘鋅薄膜(CZT)探測器制備過程中加入了一個熱退火過程，以降低泄漏電流并獲得穩(wěn)定的探測器性能。由于其功功能低，可以作為CZT肖特基探測器的金屬接觸。研究了低溫退火對銦/CZT接觸的影響。采用了銦/CZT/金結(jié)構(gòu)的CZT肖特基探測器。探測器在真空中退火10小時，在空氣中退火2、4和8小時。測量了退火過程前后各探測器的泄漏電流和能量分辨率，并對測量數(shù)據(jù)進行了比較。
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