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本文研制開發(fā)了一種大直徑單晶體生長控制系統(tǒng)，主要部件采用稀土永磁直流力矩測(cè)
速機(jī)組，滾珠絲杠，嵌入式單片機(jī)、交流伺服電機(jī)等。提出了一種用單片機(jī)和D/A 轉(zhuǎn)換器實(shí)現(xiàn)交流伺服電機(jī)多波形控制的優(yōu)化算法，提高了控制精度，簡(jiǎn)化了編程方案。試驗(yàn)證明它性能可靠，工作穩(wěn)定，是較完美的大直徑單晶體生長控制系統(tǒng)?，F(xiàn)已正式投入使用。
關(guān)鍵詞：?jiǎn)尉w生長；滾珠絲杠；控制系統(tǒng)；嵌入式單片機(jī)
速機(jī)組，滾珠絲杠，嵌入式單片機(jī)、交流伺服電機(jī)等。提出了一種用單片機(jī)和D/A 轉(zhuǎn)換器實(shí)現(xiàn)交流伺服電機(jī)多波形控制的優(yōu)化算法，提高了控制精度，簡(jiǎn)化了編程方案。試驗(yàn)證明它性能可靠，工作穩(wěn)定，是較完美的大直徑單晶體生長控制系統(tǒng)?，F(xiàn)已正式投入使用。
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單晶體
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