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      激光晶體自動直徑控制（ADC）技術(shù)的研究

      2021-09-17 | pdf | 49.42KB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      激光晶體自動直徑控制（ADC）技術(shù)的研究-

      精密的自動控制直徑技術(shù)是提高晶體質(zhì)量和成品率的重要途徑l。目前自動控制提拉法生長晶體，實際上都集中在如何自動控制晶體直徑這一點上。自動控徑方法有如下幾種：

      （1）光圈控徑法

      晶體生長是在晶體周圍液面上存在一個隨晶體直徑的變動而變動的光圈。用光學(xué)系統(tǒng)對光圈取樣，利用光敏元件對光圈邊緣進(jìn)行控制，從而達(dá)到控制晶體直徑的目的

      （2）光反射法

      在晶體生長時，由于熔體表面張力使晶體外延與熔體交界處形成彎月面，彎月面隨晶體直徑變化，其曲率半徑也會隨著變化，利用這點，當(dāng)一束經(jīng)聚焦的激光照射到熔體彎月面上會發(fā)生反射。若晶體直徑發(fā)生變化，彎月面曲率也會隨著變化，反射光就偏離原光路，根據(jù)這一訊號控制加熱功率，使反射光返回原光路，晶體恢復(fù)原來直徑，從而達(dá)到控制直徑的目的。


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