半導體設備的可靠性、維修性和可用性
北京七星華創(chuàng)電子公司 董大為
當今在半導體設備采購中,需方( Purchaser )除關注設備的性能和工藝保證性指標 (Guaranteed Specifications)外,還普遍關注設備的可靠性 (Reliability)、維修性 (Maintainability)和可用性 (Availability).可靠性在國標GB/T 3187－94 中被定義為:產(chǎn)品在規(guī)定的條件下和規(guī)定的時間區(qū)間內(nèi)完成規(guī)定功能的能力,它常用平均失效間隔時間MTBF (Mean Time Between Failures)來表示,MTBF 是指失效間隔時間的期望。.維修性在上述國標中被定義為:在規(guī)定的條件下并按規(guī)定的程序和手段實施維修時,產(chǎn)品在規(guī)定的使用條下,保持或恢復能執(zhí)行規(guī)定功能狀態(tài)的能力,它常用平均修復時間MTTR (Mean Time To Repair)來表示,MTTR是指修復前時間的期望?？捎眯栽谏鲜鰢鴺酥斜欢x為：在要求的外部資源得到保證的前提下,產(chǎn)品在規(guī)定的條件下和規(guī)定的時刻或時間區(qū)間內(nèi)處于可執(zhí)行規(guī)定功能狀態(tài)的能力，它常用設備能工作時間 (Up Time)或可用時間%來表示?？捎脮r間是指產(chǎn)品處于可用狀態(tài)的時間區(qū)間?？捎眯允钱a(chǎn)品可靠性,維修性和維修保障性的綜合反映,它與技術、管理、供方(Supplier)和使用方(User)都有關.因此,要作為一項考核指標，應進行合理的界定。SEMI E10－0304 用設備在生產(chǎn)中占用的時間來確定并計算設備的可靠性、維修性和可用性,成為需方和供方統(tǒng)一的、可操作的技術指標。SEMI E10－0304 把設備所處的時間分成六類見下圖：