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      超深亞微米集成電路可靠性技術(shù)

      2010-04-27 | rar | 375 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      摘要：就超深亞微米集成電路中高K柵介質(zhì)、金屬柵、cU／低K互連等相關(guān)可靠性熱點(diǎn)問題展開討論．針對(duì)超深亞微米集成 電路可靠性問題．提出可靠性設(shè)計(jì)、生產(chǎn)過(guò)程的質(zhì)量控制、可靠性評(píng)價(jià)與失效分析是集成電路可靠性綜臺(tái)評(píng)價(jià)與保證構(gòu)核心思想，為產(chǎn)品可靠性評(píng)價(jià)與保證提供指導(dǎo)性參考。
      關(guān)鍵詞：超深亞微米集成電路；可靠性；高柵介質(zhì)；金屬柵；Cu／低K互連
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