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      掃描電鏡電壓襯度技術(shù)在集成電路失效分析中的應(yīng)用

      2012-03-15 | rar | 2.23 MB | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      本文主要討論利用掃描電鏡及其外加電路, 對(duì)集成電路的失效進(jìn)行分析的方法— 電壓襯度法.
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