高壓Trench IGBT的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)和制作說(shuō)明
資料介紹
闡述了高壓Trench IGBT結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)。文中先提出了高壓1 200 V的Trench IGBT器件的結(jié)構(gòu)模型;然后仿真其電性能,根據(jù)仿真的結(jié)果;設(shè)計(jì)出高壓Trench NPT IGBT的版圖及工采用該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)得到實(shí)際研制結(jié)果,對(duì)研制出1200V 15A和25A的高壓Trench NPT IGBT進(jìn)一步做了參數(shù)驗(yàn)證、應(yīng)用驗(yàn)證和可靠性驗(yàn)證;最后說(shuō)明采用該思路,設(shè)計(jì)的產(chǎn)品規(guī)模化生產(chǎn)情況。
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