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為了提高建筑結(jié)構(gòu)中的位移測量準(zhǔn)確度,介紹了一種基于位置敏感元件的激光非接觸位移傳感器,對傳感器的設(shè)計(jì)進(jìn)行了分析。研制的傳感器的主要技術(shù)參數(shù)為工作距離為0. 4～7m ,位移幅值5mm ,測量分辨力1～7μm ,準(zhǔn)確度10μm ,頻率響應(yīng)為0～100 Hz。
關(guān)鍵詞: 振動測量; 非接觸測量; 激光
Abstract : In order to increase accuracy of displacement ,a noncontact laser displacement sensor based on position sensi2 tive detector is introduced. A design of sensor is analyzed ,the main technical parameters of the developed sensor are op2 erating range 0. 4～7m ,moving distance 5mm ,measuring resolution 1～7μm ,accuracy 10μm ,frequency response 0～ 100 Hz.
Key words : vibration measurement ; noncontact measurement ; laser
關(guān)鍵詞: 振動測量; 非接觸測量; 激光
Abstract : In order to increase accuracy of displacement ,a noncontact laser displacement sensor based on position sensi2 tive detector is introduced. A design of sensor is analyzed ,the main technical parameters of the developed sensor are op2 erating range 0. 4～7m ,moving distance 5mm ,measuring resolution 1～7μm ,accuracy 10μm ,frequency response 0～ 100 Hz.
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