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采用擴(kuò)散硅絕對(duì)壓力傳感器為檢測(cè)部件,研制出高精度絕對(duì)壓力計(jì),重點(diǎn)介紹絕對(duì)壓力計(jì)的工作原理及為提高儀表精確度所進(jìn)行的溫度補(bǔ)償。
關(guān)鍵詞: 絕對(duì)壓力計(jì); 高精度; 溫度補(bǔ)償
Abstract : A high accuracy pressure gauge has been developed ,a diffused silicon absolute pressure transducer wasused as sensing element ,and theory of the absolute pressure gauge and the measures of temperature compensation for improve the accuracy of the gauge were introduced in detail.
Key words : absolute pressure gauge ; high accuracy ; temperature compensation
關(guān)鍵詞: 絕對(duì)壓力計(jì); 高精度; 溫度補(bǔ)償
Abstract : A high accuracy pressure gauge has been developed ,a diffused silicon absolute pressure transducer wasused as sensing element ,and theory of the absolute pressure gauge and the measures of temperature compensation for improve the accuracy of the gauge were introduced in detail.
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