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基于共焦原理的自聚焦光纖傳感器將共焦光路、自聚焦透鏡和光纖集于一體, 實(shí)現(xiàn)了微型化和軸向高分辨率的統(tǒng)一, 可用于內(nèi)外曲面的微觀形貌、坐標(biāo)尺寸和曲面輪廓等的高精度檢測。運(yùn)用高斯光束傳輸原理和矩陣光學(xué)理論對影響傳感器信號強(qiáng)度的端面回波問題進(jìn)行了理論分析, 提出了解決回波問題的技術(shù)途徑。實(shí)驗(yàn)結(jié)果說明, 通過對不同端面采用不同的抑制方法, 回波問題被較好地解決。
關(guān)鍵詞: 回波損耗; 光纖傳感器; 自聚焦透鏡; 光纖共焦顯微技術(shù); 變折射率光學(xué)
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